供应日本ULVAC 皮拉尼真空测定子WP-01、WP-02、wp-03
供应日本ULVAC 皮拉尼真空测定子中国火爆*直销
ピラニゲージ
センサユニット（SP1）、ボックスユニット（BPR2）は、G-TRANシリーズのピラニゲージ型の計測ユニット
です。センサユニットは、「測定子と回路部が一体型（測定子の交換可能）」、ボックスユニットは、測
定子のベーキングが行なえる「測定子と回路部が分離型」 です。ボックスユニットについては、RS-
485インターフェイスも装備しております。
? アナログ信号及びセットポイント出力（2点）
? 擬似ログ出力（ボックスユニットのみ）
? RS-485通信（マルチドロップ対応、ボックスユニットのみ）
? 測定子の交換が容易、従来の測定子と互換
? 測定子のベーキング可能（ボックスユニットのみ）
? 半導体?電子部品をはじめとする各種製造装置のプロセス制御に
? 炉をはじめとする各種産業機器のプロセス制御に
? インライン?枚葉式にような多くのプロセス室をもつ各種製造装置のプロセス制御に
名称： センサユニット ボックスユニット
型式： SP1 BPR2
適応測定子： WP-01、02、03、16 WP-01、02、03、16、
WPB-10
測定圧力範囲 ：Pa 4.0×10-1?3.0×10+3
測定精度： ±15% （51?760Pa）±30% （10?1000Pa）±50% （0.4?3000Pa）
使用温度範囲 ：℃ 10?40
レコーダ出力 非線形出力：DC0V?5V （MAX.10V）
- 擬似ログ出力： DC0V?10V
（各桁内1Vのリニア出力）
制御出力信号
（オープンコレクタ） ERROR信号、セットポイント1?2
LED表示 パワー、エラー、セットポイント1?2
通信形式 - RS-485
電源 DC24V±2V、90mA（MAX） DC24V±2V、150mA（MAX）
入出力コネクタ D-sub15ソケット、M2.6ネジ
本体質量 g
（測定子含まず） 190 270
オプション 測定子
真空計G-TRANシリーズ （400K）
G-TRANシリーズ ピラニゲージ （411K）
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其他型号一览表
WP-01
WP-02_06
WP-03
WP-16
WPB-10-034
WPB-10-070
SP1
BPR2
WP-01
WP-02_06
WP-03
WP-16
WPB-10-034
WPB-10-070
SP1
BPR2
