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MC-10系列-MC-10系列多功能流量控制器
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  • MC-10系列-MC-10系列多功能流量控制器

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货物所在地: 广东深圳市
地:
更新时间: 2018-10-12 21:00:04
期: 2018年10月12日--2019年4月12日
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产品简介

用途:半导体、太阳能、薄膜太阳能、实验室仪器、科学分析、生物工程、气体工程、泵、一般工业等
特点:
1、采用橡胶密封、比例电磁阀、实现低成本。
2、搭配多气体我量程功能。
3、精度±1.0%F.S。
4、标准接头1/4"SW相当品。
5、可选接口(RS-485)

详细介绍

MC-10多功能流量控制器


用途:半导体、太阳能、薄膜太阳能、实验室仪器、科学分析、生物工程、气体工程、泵、一般工业等

特点:

  1. 采用橡胶密封、比例电磁阀、实现低成本。
  2. 搭配多气体我量程功能。
  3. 精度±1.0%F.S
  4. 标准接头1/4"SW相当品。
  5. 可选接口(RS-485


性能指标

型号

MC-10RC

MC-11RC

流量(N2换算)

10SCCM-5SLM

6SLM-50SLM

阀门动作

默认常闭

默认常闭

zui小制御流量

满量程2%

满量程2%

模拟流量设定信号

0.1-5VDC

0.1-5VDC

模拟流量输出信号

0-5VDC

0-5VDC

精度

±1.0%F.S

±1.0%F.S

再现性

±0.2%F.S

±0.2%F.S

必要差压(KPa D

50-300

100-300(∽30SLM)



150-300(31SLM)

耐压


1MPa(G)

工作温度湿度范围

15-35oC; 0-80%RH(无结露)(使用温度:5-50oC

15-35oC; 0-80%RH(无结露)(使用温度:5-50oC

漏率

1X10-8Pa.m3/sec  He

1X10-8Pa.m3/sec  He

储存温度湿度范围

0-60oC; 0-80%RH(无结露)

0-60oC; 0-80%RH(无结露)

安装方式

自由

自由

接口部材质

SUS316LPTFEViton橡胶

SUS316LPTFEViton橡胶

标准接口

6.35mm(1/4")SWL(长度127mm)

6.35mm(1/4")SWL(长度127mm)

工作电源

±15VDC

±15VDC

电气接口

9Pin D-Sub(固定螺母M3)

9Pin D-Sub(固定螺母M3)

产品重量

1.2Kg

1.2Kg


适用流量范围表

VR编码

适用流量范围

(按N2换算)

可变VR

基准流量

1

10-20SCCM

0.50-1.00

20SCCM

2

20-50SCCM

0.5-1.50

50SCCM

3

40-100SCCM

0.5-1.25

100SCCM

4

80-200SCCM

0.5-1.25

200SCCM

5

200-500SCCM

0.50-1.25

500SCCM

6

0.4-1SLM

0.50-1.25

1SLM

7

0.8-2SLM

0.50-1.25

2SLM

8

2-5SLM

0.50-1.50

5SLM

9

4-10SLM

0.50-1.25

10SLM

10

8-20SLM

0.50-1.25

20SLM

11

30-50SLM

0.60-1.00

50SLM


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