牛津X荧光测厚仪CMI900、920操作指导

牛津X-Strata920测厚仪器操作培训内容

一、开  机

打开电脑、显示器，打印机电源后再打开测试主机

二、进入程式

    待电脑启动完成后会自动弹出SmartLink FP程序的密码输入提示对话框，（当退出程式需重新登录时，需在windows桌面双击SmartLink FP图标亦会出现同样的对话框），此时输入合适密码。

三、升  压

    待机器完成初始化（即Z轴走台上下移动一周，直至走台声音停止），图像下方的灰色GO键转换成绿色时表示升压工作完成（电压升至45.0KV，电流升至0.8mA测量电流，然后自动降为0.2mA待机电流）。

四、热  机

关机超过3个小时后开机必做。点击“计数”，将波谱校准片“Spect  cal”放入仪器，将Ag点移至十字线中间，镭射聚焦，设定测量时间为6秒,重复测量次数为30~50次, 点击绿色Go键，等待自动连续测量完成。

五、波谱校准

不关机状态下每日必做或每次关机3小时以上再次重开机必做，目的在于让仪器进行自我补偿调整。

首先点击任务栏中的“波谱校准”图标，然后将波谱校准片“Spect  cal”放入仪器，将Cu-Ag合金点移至十字线中间，镭射聚焦，测量（点击Go键）。

待仪器自动完成每一步，红色STOP键会转变成绿色GO键后，将纯Ag点移至十字线中间，镭射聚焦，测量（点击Go键），完成后出现“波谱校准成功！”字样的对话框时，点击“确定”即可。

若不成功，检查是否做错，或中途是否停止过，或有无移动过波谱片，此时需要重新完整再做一次波谱校准。

六、测  量

回到测量界面，点击上方“测量123”，依据不同的测试样品选择影像下方的“应用档案(App)”，点击右方的黄色文件夹（即打开档案夹），选择对应镀层的合适档案，开启档案，放入待测试样品，将样品测试点移至十字线中间，镭射聚焦，点击GO键开始测量，测量完成后可在右上方的显示框中直接看到结果。

七、打  印

    点击上方任务栏的“统计”下拉菜单中的“列印”选项，选择列印“所有的”或“单一数据”，离开后点击“确定”打印即可。

八、关  机

    先拿出样品台中的样品，然后退出SmartLink FP程序（即点击右上角“退出”或  ，回答“确定”,待降压后自动退出），然后关闭显示器，主机，打印机等。全部操作完成。    

新建校准档案指引

一、进入校准模式

点击任务栏中的“FP校准”图标。

二、创建新档案

下面以Au/Ni/Cu为例：

在校准模式下点击任务栏中左上方的新建“”图标，此时出现元素周期表。

     选定元素：

     a：点击元素周期表中的“Au”，按住鼠标左键不放拖“Au”至右上方元素栏中的上层。

     b：点击“Ni”拖至第二层。

     c：点击“Cu”拖至第三层。

     d：点击下方“离开”，此时右下方出现参数功能选择区。

设定参数：

     a: 点击“参数”，修改“测量时间( 例如60或90 秒 )”，“厚度单位( 例如微英寸 )”，“准确度( 例如2 位小数点位数 )”等。

     b: 点击“标准片”，输入Au薄片的厚度( 例如Au 4.0 UIN )和Ni薄片的厚度 ( 例如Ni 150.0UIN ), 此时注意输入的数值一定要对应a项中的单位，不可混淆。

测量标准片:

      a: 点击右上方的“Au* ”，放入Au*标准片，调焦，测量。

      b: 点击右上方的“NI* ”，放入Ni*标准片，调焦，测量。

      c: 点击右上方的“CU* ”，放入Cu*标准片,  调焦，测量。

      d: 点击“Au4.00/150.00/Cu inf( 例子 )，按要求先将Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 叠加在一起，AU( 4.0UIN )在上方，Ni( 150.0UIN )在下方，然后放在 Cu* 标准片上，对齐位置，放入模具，轻轻放进样品台，镭射聚焦，测量。

     存档

      点击任务栏中的“保存”图标，以合适文件名命名存档。

三、转换应用档案指引

（一般建立新档案后需要进行此步骤，更新旧档案则不需要）

a、进入设立程式

       点击任务栏右上方的的应用图标“应用”，进入设立应用档案模式。

b、选校准档案

       点击下方“选择校准档案”，出现全部校准档案文件，选定要设立的档案。

c、设定参数

点击“参数”，修改“测量时间( 例如15 S )”，“厚度单位( 例如微英寸 )”，“准确度( 例如2 位小数点位数 )”。

d、固定格式打印报告的关联

点击“打印”，若有编辑打印报告，可点击“选择报告”，选定合适的固定格式报告 。

e、存档

点击“保存”，输入合适文件名存档。

f、操作完成，可测量样品。

点击任务栏中上方的 “测量123” 图标，进入测量模式，然后选择影像下方的“应用”，即可放入样品测试。

更新校准档案指引

一、什么时候需要更新校准档案？

以Au(4.0)/Ni(150.0)/Cu档案为例，假如我们在影像下方的“应用”档案里面调出Au/Ni/Cu档案测量样品结果感觉与理想值厚度出入较大时，我们可以从影像下方的“校准”档案里面调出Au/Ni/Cu档案，然后按将Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 叠加在一起，AU( 4.0UIN )在上方，Ni( 150.0UIN )在下方，然后放在 Cu* 标准片上，对齐位置，放入模具，轻轻放进样品台，镭射聚焦，测量。看测量结果与标准品实际结果偏差是否在允许误差范围内，若在误差允许范围内，则证明档案正确。若不在误差允许范围内，则需要更新该校准档案。

二、如何更新校准档案

点击上方任务栏中的“FP校准”图标，点击任务栏中“打开”图标

此时出现“FP校准”档案全部文件。

选则档案：

       a: 点击需要更新的档案名。

       b: 点击“打开”。

    测量：（以Au/ Ni/Cu为例）

       a: 点击右上方的“Au* ”，放入Au*标准片，调焦，测量。

       b: 点击右上方的“NI* ”，放入Ni*标准片，调焦，测量。

       c: 点击右上方的“CU* ”，放入Cu*标准片,  调焦，测量。

       d: 点击“Au4.00/150.00/Cu inf( 例子 )，按要求先将Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 叠加在一起，AU( 4.0UIN )在上方，Ni( 150.0UIN )在下方，然后放在 Cu* 标准片上，对齐位置，放入模具，轻轻放进样品台，镭射聚焦，测量。

存档: 

等待测量完成后一项，GO键变绿后，点击“保存”存档。

（更新校准档案时不需要设置标准片参数等等，只需要按步骤测完每一项，并且准确放入对应厚度的标准片）

三、更新完成

a: 检查档案是否更新成功

叠加的标准片继续放在样品台内不用拿出来，再次从影像下方的“校准”档案里面调出Au/Ni/Cu档案，镭射聚焦，测量标准片。看测量结果与标准品实际结果偏差是否在允许误差范围内，若在误差允许范围内，则证明更新档案成功。  

    b: 操作完成，可测量样品。

点击影像下方的“应用”，从右方的黄色文件夹（即打开档案夹）里选择对应镀层的合适档案测量样品。