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UL-Coat-1 常压等离子设备

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更新时间：2023-06-25 07:51:35浏览次数：52次

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产品简介

图片简介AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2、Tio2等材料的涂层，涂层均匀性好且快速

详细介绍

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简介

AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiO_x/SiO₂、Tio₂等材料的涂层，涂层均匀性好且快速。

规格参数

基本参数	镀膜材料：SiO2/SiOx 镀膜厚度：50-1000nm 均匀性：+/-2% 处理温度：RT-200℃，取决于处理速度处理速度：0-20m/min，根据实际应用调整
枪头	1个
电缆线	3m、5m、7m可选
发生器	尺寸：520mm×460mm×210mm，重量：20Kg
控制系统	PLC可实现下列功能：简单便捷的操作界面；根据处理材料设定不同的处理工艺参数，并且形成工艺菜单；设置进气停气，加电停电，输入电压等指标；监测所有的运行指标，保证各项参数在设定范围之内；设定操作进入密码。
电源供应	220-230V AC, 50/60Hz, 5A
工艺气体	压缩空气、氮气、其他混合气体，消耗量：50L/min
气体输入	一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC），输入压力：3Bar
尾气排放	50m3/min
其它性能	急停开关；接地保护；CE认证
选件	定制OEM
主要应用	1，表面改性后进行等离子镀膜，膜粘接能力强； 2，支持其他镀膜研究； 3，修补等其他应用。