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SE200BM型椭偏仪 薄膜厚度测量系统

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厂商性质经销商

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更新时间:2018-05-15 17:17:49浏览次数:528次

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产品简介

利用光的偏振特性,在光的反射和折射定律的基础上对固体材料的光学结构和性质进行测量、分析和研究,其显著特点是通过测量偏振光与固体材料相互作用后的振幅和相位变化,可得到有关材料光学常数等各种信息,如吸收系数、反射率、复折射率和复介电常数等

详细介绍

系统配置: 

  • 型号:SE200BM-M300
  • 探测器:阵列探测器
  • 光源:高功率的DUV-Vis-NIR复合光源
  • 指示角度变化:手动调节
  • 平台:ρ-θ配置的自动成像
  • 软件:TFProbe 3.2版本的软件
  • 计算机:Inter双核处理器、19”宽屏LCD显示器
  • 电源:110–240V AC/50-60Hz,6A
  • 保修:一年的整机及零备件保修

 

基本参数:

  • 波长范围:250nm到1000 nm
  • 波长分辨率: 1nm
  • 光斑尺寸:1mm至5mm可变
  • 入射角范围:0到90度
  • 入射角变化分辨率:5度间隔
  • 样品尺寸:zui大直径为300mm
  • 基板尺寸:zui多可至20毫米厚
  • 测量厚度范围*:0nm〜10μm
  • 测量时间:约1秒/位置点
  • 精确度*:优于0.25%
  • 重复性误差*:小于1 Ǻ

 

关键词:显示器
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