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Junior小型等离子表面处理设备

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品       牌

厂商性质经销商

所  在  地北京市

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更新时间:2018-05-15 17:17:49浏览次数:421次

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产品简介

重要用于实验或者小型的等离子处理

详细介绍

产品介绍:

  • 反应舱:
        材料:铝
        有效尺寸:直径230 x 深度250mm
        容积:10.4升
        舱门:装有可视窗口
        托盘:订制
  • 真空度测量:
        皮拉尼真空计(利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的,而电阻丝温度的变化又与其周围气体的热导率有关)
  • 真空泵:
       二级旋片式真空泵;3m3 每小时。
  • 频射发生器:
        0~600w可调,2.45GHZ发生器
  • 控制系统:
        触摸屏操作,PLC控制系统
        PLC可实现下列功能:
             1、自动控制反应过程;
           2、根据处理材料设定不同的处理工艺流程;
           3、测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标;
           4、监测所有的运行指标,保证在设定范围之内;
           5、 设定操作、维护密码。
  • 电源:
         220V AC、50Hz、16A.
  • 反应气体:
        一个气体输入端口,含气体流量控制器(MFC);根据用户需要,可扩展
  • 气体输入:
        直径1/4英寸(0.645厘米)管道;输入压力:1Bar. 
  • 安全性能:
        急停开关;真空泵保护锁;高温保护锁;CE安全认证。

 用途:

小型物件的活化、清洗、蚀刻等。

 

可选件:

 

  • 频射发生器:100KHZ, 13.56MHZ ,可订制
  • 可加装15m3每小时的真空泵
  • 根据需要,可订制多个气体输入管道
  • 根据客户工艺要求制作的软件程序
  • 根据客户要求制作的托盘。
  • 石英反应舱 
  • N2 Purge. 

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