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青岛福祥自动化设备有限公司


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美国Aalborg气体质量流量计

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更新时间:2018-05-15 11:31:21浏览次数:613次

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产品简介

青岛福祥自动化设备有限公司优惠销售:美国Aalborg气体质量流量计, Aalborg控制器

详细介绍

 

青岛福祥自动化设备有限公司优惠销售:美国Aalborg气体质量流量计, Aalborg控制器
美国Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上的气体质量流量计/控制器的生产厂家,其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。
产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用:CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
设计特点:
-刚性金属结构
-流程范围从0开始到10sccm直到01000slpm
-zui大压力500psig34.5Bar
-泄漏率110-7氦气
NIST系统标定可追踪的证明
-可倾斜的LCD读表
0-5Vdc4-20mA信号输出
-电路保护
-可用作便携式的设备
0100%比例显示
-可配备流量计算机

精度:±1.5%满量程,包括59℉到77℉的气体温度(15℃到25℃)和560psia0.44.1bar)的压力。可选±1%满量程(标定精度),在给定的温度与压力值条件下。
重复性:±0.5%满量程
回应时间:实际流速±2%超过满量程25-100%一般2
温度系数:0.15%满量程/℃
压力系数:0.01%满量程/psi0.07bar
气体/周围温度:32-122℉(5-50℃)
输出信号:0-5Vdc,zui小1000Ω4-20mA0-250Ω回路电阻
传感器输出:+12Vdc;zui大200Ω。+24Vdc可选
时间恒量:800ms

气体压力:zui大1000psig70bar)。可选20psig1.4bar
流体接触面材质:AGFC铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环
B
GFC17S37S47S57S67S77S不锈钢系列:316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。
方位灵敏度:水平到垂直旋转低于15度;标准校准是在水平位置
连接:GFC173714"卡套螺纹VCR®18"卡套可选(GFC17
GFC47
38"卡套螺纹
GFC57
38"卡套螺纹
GFC67
12"卡套螺纹
GFC77
34"卡套螺纹
VCR®
34"卡套可选(GFC77
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