天长市汉东电缆仪表厂
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阅读：41发布时间：2021-11-30
热质量流量计根据结构的不同分为毛细管热质量流量计和微机电系统热质量流量计。毛细管热式质量流量计的工作原理所谓毛细管热式质量流量计，顾名思义，是通过从气体经过的主通道分流出一小股气体流，通过测量这一小部分气体的质量流量，计算出通过主通道的所有气体质量流量之和。并且加热器和温度测量元件通常在毛细管壁外部有噪声，而侧气体通过毛细管内部。用电阻丝缠绕的热电偶。质量流量计通电后，电阻丝开始发热，热量通过线圈外的绝缘层和管壁传递给通过毛细管的气体，因此通过毛细管的气体前后温度发生变化，气体质量流量的数值与这种温度变化成正比。气体质量流量可以用上面提到的金定律P/△T = A+B(Qm)k来计算。热式质量流量计是目前市场上主流且应用泛的质量流量计。从毛细管热式质量流量计的工作原理不难看出。
这类质量流量计通常具有以下特点:
1。因为热式质量流量计的工作原理是以温度为基础的，所以热式质量流量计可以承受高压。
2.测量响应速度比较慢，启动后通常需要预热一段时间才能工作，达到规定的精度。因此，预热时间的值通常可以在热式质量流量计的参数表上看到。
3.因为热式质量流量计的工作原理是基于气体的传热能力，即气体的比热容，所以一个热式质量流量计只能测量一种气体。目前一些热式质量流量计品牌的一些系列可以支持多种气体，但实际上只是针对一些常用的惰性气体。热质量流量计的制造商通常积累了多年的经验值，即将它们乘以一个系数进行转换。如果测量精度不是很高，他们可以利用它们。或者，某些被测气体的温度和压力变化波动很小，因此忽略气体比热容的变化。但本质上，热式质量流量计的工作原理限制了它只能测量单一气体的质量流量。
4.热式质量流量计的毛细管是一种管径长度与管道内部强度比值较大的部件，容易在管壁上沉积水垢或被异物堵塞。毛细管和主气体通道采用一体式设计，为不可拆卸部件。遇异物堵塞，不能正常工作，无法修复，只能更换。
5.然而，由于毛细管与主气道之间的一体化设计，热式质量流量计比其他工作原理的质量流量计具有更好的密封性能，可以测量高腐蚀性气体的质量流量。这就是为什么具有热工作原理的质量流量计通常用于半导体工业中的蚀刻应用。直通式热式质量流量计的工作原理直通式热式质量流量计的工作原理与上面的毛细管热式质量流量计有些相似，只是没有旁路结构，直接在管道内放置流量传感器，测量通过管道的气体质量流量。直通式热质量流量计中使用的流量传感器实际上是一个非常小的芯片，贴在管道内壁上。因此，直通式热式质量流量计又被称为热贴片质量流量计，还有一个高大的名字叫做MEMS质量流量计。从毛细管热式质量流量计和直通式热式质量流量计的工作原理可以看出，直通式热式质量流量计的测量精度相对较差，通常用于精度要求不太严格的应用场合，如石油化工行业。优点是体积小，便于工业集成。常见的MEMS质量流量计是瑞士的Axitris。差压式质量流量计的工作原理差压式质量流量计的工作原理是测量管道内两点之间的压差。楼上说用层流片工作原理测量的叫Alicat。这个家庭的特点是煤气可以随意切换，但缺点是不能承受高压。其实还有一种差压式质量流量计，是进口的，工作原理类似，采用文丘里管结构，使气体做层流运动。
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