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青岛世融馨仪器科技有限公司


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微小气体质量流量计

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更新时间:2021-11-06 14:33:25浏览次数:243次

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产品简介

一、 产品概述 采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS( Microelectromechanical systems ) 气体质量流量计和流量控制器,主要应用于轻工、化工、环保

详细介绍


一、 产品概述
采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS( Microelectromechanical systems气体质量流量计和流量控制器,主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿。
 
二、 技术参数(本产品按Q/320500HH009-2014进行生产、校验)
2.1  测量介质:各种气体(乙炔气和混合气体除外)
2.2   流量范围:   DN3   100-1000mL/min
                      DN4    250-2500mL/min
                      DN6    1000-10000mL/min
                      DN8    1500-15000mL/min  
                      DN10   2500-25000mL/min             
                注:(a)以上流量的测量介质为空气而言;
(b)以上流量的标准状态20101.325kPa
2.3   流量测量准确度:±1.5%FS
2.4   工作温度范围:0-55℃;
2.5   工作压力范围:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa
2.6   供电电源:24VDC±10%;
2.7   输出信号:4-20mA,RS485通讯;
2.8   环境温度:0-55℃;
2.9   显示位数:瞬时流量为三位,累积流量10位。  


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