微米和亚微米级部件的尺寸测量,表面形貌观察;半导体芯片表面形貌观察,非接触型的线宽,台阶深度等测量;摩擦学磨痕的体积测量,粗造度测量,表面形貌分析。
性能描述:
提供zui多操作便利
与所有第五代LSM 5 PASCAL组件一样，Scanning module的特点就是*机动化的扫描模件。其所有活动部件，包括放射滤光轮、主次级双色光束分离器、针孔和激光谱线的机械衰减器，均由计算机控制，放在要求位置，整体装置因此可以避免出错，且无需任何笨重的手动操作。实践中的特殊优点：按钮被按下后能够自动复位。
*的灵活性
我们要着重强调的是LSM 5 PASCAL的灵活性。根据其在生命科学和材料科学上的不同应用，有六种版本供选择，均带一个或两个共焦通道，可发射蓝色和绿色光谱的激光合，并带五个显微镜镜座。可在数分钟之内将LSM 5 PASCAL由立式转为倒置式显微镜。共焦显微镜只不过是对传统显微镜稍作改变而成。
蔡司激光扫描显微镜的3维测量和3维复原
采用“LSM三维"软件将具有高性能自动测量功能的蔡司LSM升级对3-维图象数据进行数量分析。表面和α示意图是方便的3-维形象化工具，您可以用来将图象顺序数据改变成一个总的3-维图象，并可以从任何所要求的角度进行观察。
所有的重要功能都可以从一个工具条中立刻看到。为了更好地定位并对结果进行比较，这些结果的图象经过处理后被安排在图库中。这样可以有效地对参数进行设定，只要用鼠标拖动和放下便可以方便地拷贝图象。
为了提供的支援，本程序是专门为您的LSM定做的。它zui多采用8个通道对图象顺序进行处理。图库的大小只受电脑内存的限制.为了取得的zui大图象和测定精确度，“LSM三维"用真正的3维来处理您的数据。结果便可说明一点，从图象处理到结果的显示都具有令人信服的质量。
3维复制
为了进行3维复制，可以提供二种单独的规则系统来满足不同的应用。表面复制程序采用适合整体物体显示的倾斜遮影法。采用这种方法所复制出来的物体表面结构质量特别高。物体表面的复制隐藏了所有的结构，因此在用来进行内部结构分析的“LSM三维"中执行用于进行3-维复制的第二种规则系统。
采用α示意图规则系统可以让我们可以看到大物体内的结构。作为透明外套，还可以看到周围物体的表面。采用这种方法可以很容易地确定内部结构。3维测定3-维图象化后，分析您的共焦数据的下一个逻辑步骤是用量表示的3-维测量。为了这个目的，在“LSM三维"中执行用于3-维空间的强大的自动测量模件。
使用自动测量功能的前提是所谓的分割 – 也就是靠着背景对物体/结构进行分离。采用分割方法可以产生一种新3-维图象；在新3-维图象中所有待测定的物体都用纯白色来定义，而背景则用纯黑色来定义。为了方便地应用分割功能，可以提供一个互动、自动的模式。
从广泛的选择中由用户来确定那些特点必须计算来使用测定功能：
● 几何和光密度计量物体特点，如体积、充填体积、表面、配置因素、平均光密度等。
● 几何和光密度计量体积特点，如：物体数量、所有物体的总体积、所有物体平均光密度值等。
各种物体和体积特点都在测量窗口中。
测定过程的结果都列在二张表中。此外，有关物体和体积特点的数据都可被储存在二个独立的数据库内，另外可以被拷贝到Windows写字板上。采用这些功能，用户可以选择将结果转移到另外的程序中以便采用统计方法分析数据。
（德国Martinsried的Bavarian Nordic 研究所有限公司用于复制的图象材料）。这种复制从纤维素珠共焦图库中进行计算；在微帽中可以培养操作细胞。）
优点：
采用蔡司*的共焦技术、以*的高精度蔡司光学仪器、机械系统、电子和软件作为基础，LSM 5系列的二种显微镜具有一系列突出的优点。
变化：
Z分辨率和Z工作范围。高度差异较大的结构也不会造成问题：工作距离特别长的特种物镜即使在放大倍数很大的情况下也可以提供数毫米的Z-范围。
应用：
小于微米的细节安装了紫外激光和高孔径物镜后，LSM510可以探测极小的细节，横向尺寸zui小可达100nm左右。采用2K x 2K数据点的扫描场网格，可以获得zui小达10nm的象数尺寸。 由于采用了放大倍数1.25x 至150x不等的多种蔡司反射光物镜，扫描场的大小可以有多种变化。即使是坡度陡、结构复杂的样品也无法逃得脱高孔径蔡司物镜的探测、也可以被精确地测量。
目标：大概观图象
在“瓦形扫描"模式下，安装有电动XY扫描镜台的LSM 510 / LSM 5 PASCAL可以记录面积达100 mm x 100 mm的整个物体面积的概观图象。
魅力：表面下的外貌
LSM 510 / LSM 5 PASCAL可以成像和测定（荧光）的体积，其深度达半透明样品内部数百微米。
*化：直线扫描 & 锯齿形扫描
您可以从3-维数据记录中提取图象纵剖面并投射，然后快速而方便地测量。 LSM 510 / LSM 5 PASCAL可以沿直线（直线扫描）或者以任何方向自由选择的剖面线（锯齿形扫描）直接获取2-维外形。
量化：2维和3维测量
采用LSM 510 / LSM 5 PASCAL，您可以精确地确定数量数据，如长度、角度、粗糙值、面积、体积、支承性能、多孔性、颗粒分布等，分别以靰m、靰m2、靰m3、度或百分比进行直接输出。
作用（反作用）/同步化：时间系列
在没有操作员在场的情况下，LSM 510 / LSM 5 PASCAL会记录表面或体积随时间的变化、获取数秒钟到数小时甚至数天的图象。还可以固定的时间间隔或外部事件来触发揭示单独的图库。
自动化：宏指令解决方案
采用LSM 510，您可以执行由宏指令控制的全自动问题解决方案，包括来自与文件确定参数连接的图库的所有东西。
