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上海市计量协会2011年交流会2012-11-27
上海市计量协会流量专业委员会，2011年 -
第21届多国仪器仪表展将在北京举行2012-11-27
由中国仪器仪表学会主办的多国仪器仪表展览
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MEMS流量传感器技术2012-11-27
矽翔微机电系统有限公司具有自主知识产权的
公司简介
矽翔微机电系统有限公司矽翔微机电系统有限公司（矽翔公司，SiargoLtd.）成立于2003年，公司总部位于美国加州硅谷。矽翔公司是目前世界*生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程MEMS气体流量计并使之产品化的厂商。其核心部件一MEMS流量芯片及其封装技术由公司自主研发，可用于各类气体及微流体的流量计量和测控，为传统的流体计量带来了根本性变革，提供了全新的拓展空间。传感器可测量低至0.01mec及高达65mec。针对不同的应用，传感器可用于测量气体的质量流量、体积流量及介质流速。专门设计的电路具有放大及微小信号处理功能以保证高精度输出。不同于其它MEMS传感技术，矽翔微机电系统有限公司在单个传感芯片上集成多个传感器。芯片表面采用具有高导热性能的陶瓷材料钝化处理，在保证传感器的灵敏度的同时避免传感器与气体介质直接接触以提...
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