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用于洁净气体的低压降气体流量控制器

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品       牌

厂商性质生产商

所  在  地上海市

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更新时间:2020-01-27 15:15:00浏览次数:3706次

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产地 进口 加工定制
130+气体校准,包括纯气体和混合气体
同时显示压力、温度和质量流量
按键界面操作简单
NIST可追溯性标准
0.5 SCCM~500 SLM满量程范围
典型响应时间为50~100 ms
调节比为200:1
位置不敏感
±0.8%读数精度
RS232标准
自定义实时气体混合编程
多可存储20种用户定义的气体混合物

FMA-LP2600A系列质量流量控制器 在层流场中使用 差压原理来检测并控制质量流量。 流量计中的层流元件(LFE)迫使 气体进入层流状态(经过整流处理)。按照泊肃叶方程, 在这一区域体积流量 与压降呈线性 关系。使用差压传感器 测量LFE固定距离的 压降情况。同时结合气体的粘度 准确判定体积流量。 引入单独的温度和压力传感器, 并根据一系列标准条件 修正气体流量。这种标准化 流量通常称为质量流量, 使用标准立方厘米/分钟(SCCM) 或标准升/分钟(SLM)等 单位表示。

控制器使用真正的比例阀联接到 流体,以便使用积分式 PID回路控制器来控制流量。标准设备包括 0 ~ 5V输出(可选4 ~ 20 mA)和RS232 通信。可从前端键盘或 通过RS232通信调整气体 选择功能和设定值。体积流量、质量 流量、压力以及温度均可 通过RS232连接查看或记录。 在距离为46m(150’)的同一串口连接上,同时多可与26台设备进行多点通信。
 

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