泵轴位置	卧式	材质	铸铝
产地	进口	加工定制	否
驱动方式	电动	适用领域	船舶行业,液氯行业,化工行业,医药行业,冶金行业,电力行业,石油行业,造纸行业,食品行业,水利行业,其他
输送介质	其它	性能	高压

上海伯东涡轮分子泵组客户案例: 搭配低温真空探针台, 配合真空吸附卡盘及真空吸附探针座的使用, 通过空气压缩, 固定样品及探针座.低温真空探针台用分子泵组

详细介绍

价格电议
Pfeiffer 分子泵组应用于低温真空探针台

真空探针台一般用于复杂, 高速精密器件进行表面观测以及各种性能测试的仪器, 通过测试可以保障产品的质量和可靠性并缩减研发时间和器件制造工艺的成本. 探针台主要应用于半导体行业, 光电行业, 集成电路以及封装的测试

为什么需要真空环境?
1. 真空探针台通过搭配分子泵组, 配合真空吸附卡盘及真空吸附探针座的使用, 通过空气压缩, 固定样品及探针座.
2. 由于晶圆在超低温情况下进行探测, 水气将会出现并且将会冻结晶圆. 水气会影响测量, 导致测量失败. 真空腔中的水气需要通过真空泵排出.
3. 当晶圆加热超过 300摄氏度, 400摄氏度, 500摄氏度或者更高温度时, 会发生很强烈的氧化. 温度越高, 越加大硅片表面的氧化, 氧化将使晶圆降低电学性, 物理性和机械性. 真空腔中的氧气需要通过分子泵组来排出.

上海伯东涡轮分子泵组应用于低温真空探针台客户案例: 某企业通过上海伯东*采购德国 Pfeiffer 经济型分子泵组 HiCube 80 Eco, 分子泵与隔膜泵完美结合, 整机设计, 即插即用, 提供清洁, 低振动, 稳定的高真空环境.

上海伯东 Pfeiffer 普发分子泵组 HiCube Eco 技术规格

泵组型号	进气法兰	分子泵型号	抽速氮气l/s	极限真空 hPa	前级泵型号	前级泵抽速 m³/h
Hicube 80 Eco	DN 40 ISO-KF	HiPace 80	35	1X10-7	MVP 015-2	0.5
	DN 63 CF-F	HiPace 80	67	1X10-8	MVP 015-2	1
	DN 63 ISO-K	HiPace 80	67	1X10-7	MVP 015-2	1

Pfeiffer 涡轮分子泵组整体模块化设计, 内部集成前级泵和分子泵, "即插即用", 抽速范围 35 至 685 L/S, 极限真空 5X10-10 hPa, 提供经济型分子泵组 ECO, 标准型分子泵组 Classic 和高性能涡轮分子泵组 Pro 满足不同应用, *搭配 Pfeiffer 真空计共同使用.
低温真空探针台用分子泵组
低温真空探针台用分子泵组
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