方块电阻测试仪可靠性研究
随着溅射技术、靶材技术的发展深入和成熟，使以氧化铟锡透明导电玻璃（ITO玻璃）为代表的导电薄膜材料的制造和应用越来越广泛。ITO玻璃目前是与液晶显示等平面显示技术配套的关键组件。从1987年起至今，ITO玻璃的制造在国内已有二十年的历史。产品已广泛用于电子手表、计算器、游戏机、、电脑显示器、平面电视等消费类产品，以及各种光电仪器设备和科学实验中的透明导电电极等。现在，国内已有ITO玻璃生产企业的单位年生产能力由60万片提高到了2000万片。产品也从TN型ITO玻璃，延伸到STN型、触摸屏、彩色滤光片众多品种。
面对越来越大量的导电薄膜材料的生产制造，如何保证产品的质量？除了要求生产企业的生产线稳定性不断提高，检测技术在此也提供了强有力的支撑作用。
ITO玻璃的产品质量检测包括以下几个方面：尺寸、面电阻、蚀刻性能、ITO膜层耐碱性、光电性能和可靠性等。除尺寸方面的检测仅与玻璃原片有关外，其余几个方面都与ITO玻璃生产的工艺过程有关。由于国内大多数ITO玻璃生产企业自己不生产玻璃原片，所以，与生产企业有关的ITO玻璃产品质量参数就是：面电阻、蚀刻性能、ITO膜层耐碱性、光电性能和可靠性等。
实际上，在ITO玻璃的生产过程中，检测zui多的参数是ITO玻璃的面电阻。根据在不同岗位的检测需要，生产企业分别使用手提式和台式两种面电阻测量仪。而手提式面电阻测量仪相对使用较多。
