低温冷却装置5℃～50℃快速制冷对半导体制造装置发热部分的冷却：
单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。
对激光装置发热部分的冷却：
激光加工、熔接机的发热部分、激光标志装置、发生装置、二氧化碳激光加工机等。
其他产业用机器发热部分的冷却：
等离子熔接、自动包装机、模具冷却、洗净机械、镀金槽、精密研磨机、射出成型机、树脂成型机的成型部分等。
分析检测机器的发热部分的冷却：
电子显微镜的光源、ICP发光分光分析装置的光源部分、分光光度计的发热部分、X线解析装置的热源、自动脉冲条幅器的发热部分、原子吸光光度计的光源等。
数控机床、加工中心冷却介质的降温。
低温冷却装置5℃～50℃快速制冷产品概述：
1、导热液体温度可调节。
2、采用阿斯帕拉、丹佛斯、美优乐、谷轮等牌压缩机，性能稳定，可连续工作。
3、人性化设计，灵活更方便。
4、微电脑温度控制器，温度数字显示，调节单位0.1度，温度范围5度~35度可调。
5、采用热气旁通，节约能源，提高控制精度。
6、多种故障报警（超温报警、传感器报警、高压报警、压缩机过热报警）。
7、开机延时保护。
8、所有部件均安全接地。
9、高性能循环泵，可保证每天连续24小时运行
技术参数：
型号 | FL-3500 FL-3500H | FL-5000 FL-5000H | FL-10000W FL-10000WH | FL-16000W FL-1000WH | FL-24000W FL-24000WH | FL-36000W FL-36000H |
介质温度范围 | 标准FL 系列温度范围 5℃～35℃ 只有降温功能 |
FL带H 系列温度范围 5℃～50℃ 不仅有制冷功能，并带有制热能力 |
温控控制 | ASET多功能控制器 |
温度控制选择 | 导热介质出口温度控制 |
通信协议 | MODBUS RTU 协议 RS 485接口 |
温度反馈 | 导热介质温度反馈 PT100 |
制冷量 | 20℃ | 35kW | 50kW | 100kW | 160kW | 240kW | 360kW |
10℃ | 28kW | 40kW | 80kW | 128kW | 192kW | 288kW |
制热量 H系列 有此功能 | 10℃ | 35kW | 50kW | 100kW | 160kW | 240kW | 360kW |
20℃ | 28kW | 40kW | 80kW | 128kW | 192kW | 288kW |
45℃ | 17kW | 24kW | 48kW | 77kW | 115kW | 173kW |
循环泵流 量、压力 | 9m3/h 2.5bar max | 15m3/h 2.5bar max | 15m3/h 2.5bar max | 25m3/h 2.5bar max | 25m3/h 2.5bar max | 35m3/h 2.5bar max |
储液容积 | 200L | 400L | 650L | 1000L | 1200L | 1800L |
压缩机 | 艾默生谷轮 | 艾默生谷轮 | 艾默生谷轮 | 艾默生谷轮 | 艾默生谷轮 | 艾默生谷轮 |
蒸发器 | 板式换热器 |
操作面板 | 显示设定温度和测量温度，触摸键操作输入温度 |
安全防护 | 具有自我诊断功能；冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。 |
制冷剂 | R-410A |
接口尺寸 | DN-25 | DN40 | DN40 | DN40 | DN40 | DN-50 |
外型尺寸cm | 95*170*170 | 110*200*200 | 180*120*175 | 205*145*175 | 235*145*175 | 245*145*205 |
重量(风冷) | 800kg | 1000kg | 1350kg | 1500kg | 1800kg | 2400kg |
电源 | AC220V 50HZ 12kW (max) | AC220V 50HZ 18kW (max) | AC220V 50HZ 26kW (max) | AC380V 50HZ 43kW (max) | AC380V 50HZ 63kW (max) | AC380V 50HZ 92kW (max) |
外壳材质 | 冷轧板喷塑 |
选配 | 选配7寸彩色触摸屏，记录温度曲线，数据导出采用excel格式 |
选配 | SUS304外壳 |
选配电源 | 220V 60HZ 三相，440V～480V 60HZ 三相 |
备注 | 可根据需求配置更大的储液容积 |
选配 | 选配外置触摸屏控制器，通信线距离10M |
