详细摘要: 微波等离子化学气相沉积方法可以制备大面积金刚石薄膜,满足金刚石在*、散热、光学窗口(紫外、红外、微波、X射线等)、半导体器件、声学器件等领域的需求。
产品型号:所在地:上海市更新时间:2018-05-15 在线留言上海续波光电技术有限公司
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商铺:https://www.ybzhan.cn/st52014/
主营产品:磁控溅射仪,电子束蒸发镀膜仪,离子减薄仪,微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD),化学束外延系统,电磁场场分布测试仪,等离子处理,刻蚀机,光学软件与材料(金刚石),HFCVD,BSDF/BRED测量仪,电磁场仿真软件
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