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天津市中环实验电炉有限公司>电阻炉> CVD/PECVD系列管式电炉

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CVD/PECVD系列管式电炉

CVD/PECVD系列管式电炉
产品型号:
厂商性质:生产商
所  在  地:天津市
更新时间:2018-04-17 15:33:17
浏览次数:94

产品简介
产地 国产 加工定制
品牌
CVD/PECVD系列管式电炉等离子增强化学气相沉积系统是利用辉光放电产生的等离子体中的电子动能去激活气相的化学反应。该系统由SK2-1200系列真空管式炉、石英反应腔室、射频电源、多通道混气系统、真空机组、反应控制系统组成。
详细介绍

CVD/PECVD系列管式电炉等离子增强化学气相沉积系统是利用辉光放电产生的等离子体中的电子动能去激活气相的化学反应。该系统由SK2-1200系列真空管式炉、石英反应腔室、射频电源、多通道混气系统、真空机组、反应控制系统组成。

 

CVD/PECVD系列管式电炉设备特点:
1、  利用辉光放电产生等离子体电子激活气相;
2、  提高了气相反应的沉积速率、成膜质量;
3、  可通过调整射频电源频率来控制沉积速率;
4、  能广泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长
 

 

石英管Φ60/80/100mm L1400mm
加热区尺寸440mm
恒温区尺寸200mm
控温模式采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序。
升温速率≤20℃min
极限温度≤1200℃
长时间工作温度≤1150℃
表面温度< 60℃(1000℃保温)
控温精度±1℃
加热元件电阻丝(0Cr27Al7Mo2)
密封及连接方式CF  KF  真空波纹管

 
质量混气系统

流量规格50sccm\\100sccm\\200sccm\\300sccm\\500sccm(可自选量程)
调节阀类型电磁调节阀
控制精度±0.2%F.S
工作压差范围(50~300)KPa
混气罐尺寸Φ80×120mm
电功率AC220V/50HZ/20W

 
真空系统参数

低真空配置4L/S 机械泵  电阻真空计 真空波纹管 挡板阀
极限真空度:≤0.1Pa
高真空配置4L/S 机械泵  300L/S分子泵 复合真空计 真空波纹管 挡板阀 
极限真空度:≤1.3×10-4Pa

 
射频电源系统

输出功率5-300W   5-500W  (可选)
控制模式手动/PLC/PC
工作频率13.56MHZ标准正弦波
供电电压单相交流(190V~240V)
冷却方式风冷

参数:

设备外形尺寸1800mm(长)*600mm(宽)*1390mm(高)
设备重量215KG

 


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