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集成电路照排平台高精度定位电涡流位移传感器
在关键的Z轴高度调整中，支撑圆晶片的平台必须非常精确地处于焦点平面（次原子级）。凯盟系统精确测量Z轴平台的位置（如图）并输出模拟信号（或可选的数字接口）。此传感器的高精度、重复性和分辨率可让用户在平台定位和聚焦上形成闭环。用凯盟公司15N传感器头和前置器SMU9000组成。
主要指标：
测量对象：铝
量程起点：0.25mm
量程：25µm
非线性：±1％
分辨率：<25x10^-11M
灵敏度：0.4V/µm
电源：+12～+30V，15MA/每通道
频响：0－10KHZ
输出：0-10V
温漂：<0.5µm/℃
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