一、简介：
适合微小流量气体质量流量（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。是结合微机电系统( MEMS)流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年，开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表。主要技术性能处于*水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点。针对工业环境，融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计：且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能。
本产品在性能、安装、维护方面也具有其*的优越性，可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。采用微机电系统芯片加工技术和犬规模集成电路的生产技术及材料生长技术，传感器的尺寸缩小到了微米量级．使该流量计的灵敏度大大提高。
二、应用：
气体质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM）用于对气体的质量流量进行精密测量。它们在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。其典型的应用场合包括：宅子工艺设备，如扩散、氧化、分子束外廷、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入，以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它各种类型的分析仪器。
三、热式气体质量流量控制器特点：
1、采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术，传感器的尺寸缩小到了微米量级，使该流量计的灵敏度大大提高。
2、在单个芯片上实现了多传感器集成，使该流量计的量程比（范围度）大大提高。
3、传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有*的改善。
4、结合二次仪表的微电脑智能按术，使流量计重复性好，实现了计量准确可靠。
5、技术进步带来的结构简化，使流量计较之传统的机械式仪表，压力损失大幅度减小，*地降低了能源消耗。
6、微功耗设计。采用LCD显示瞬时流量和累计流量，清晰直稠，读数方便
7、产品融台了电磁兼容设计技术，具有更高抗*力。
8、流量计带有R5485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理。
四、热式气体质量流量控制器产品安装
本产品*为水平安装。基座上的箭头标记方向为介质流向。介质进出端口连接必须正确，进口端
需装高效过滤器。
安装步骤如下：
(1)取出流量计后检查其外表，确定无损伤；
(2)连接并清洁管道；
(3)将流量计安装到管道上，并注意如下事项：
①为了保证流量计的计量准确性，安装时要先连接流量计的上游端，上游直管段应满足10DN的
zui低要求，下游直管段应满足5DbJ的zui低要求j
②流量计安装时不髓有任何密封物质渗入管道内：
(4)连接电源电缆线，需要注意接线时的极性，确保输入的直流电压在(5~12) VDC；
(5)如需要连接信号线，应保障信号线与相应用户界面端连接无误j
(6)接通电源，液晶屏显示正确。
(7)开启管道上下游的阀门，流量计开始计量管道中的气体流流量。
五、选型：
六、技术指标：
