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供应LINE-TECH M3030V/A气体质量流量控制器

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产品名称：供应LINE-TECH M3030V/A气体质量流量控制器 产品品牌：LINE-TECH M3030V/A气体质量流量控制器 报价：面议

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M3030VA 10SCCM-30SLPM

【各项技术参数】

Model

M3030V

M3030A

??流量范围（N2）??10sccm ~ 30000sccm??5sccm ~ 30000sccm
相应时间??≤2 sec??≤2 sec
精准度??≤±1% FS??≤±1% FS
重复精度??≤±0.25% FS??≤±0.25% FS
?输入/输出信号??0~5 Vdc??0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源??±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA??±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
??耐压??≤90 bar??≤90 bar
??工作环境温度??0~50 °C??0~50 °C
漏率??1*10E-9 atm cc/sec??1*10E-9 atm cc/sec
?使用范围??2 ~ 2?~ ?


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