上海纳动纳米位移技术有限公司
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| 产地 | 国产 | 加工定制 | 是 |
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压电纳米级精密定位台采用压电陶瓷驱动的扫描台，平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，补偿量小，确保了平台的运动精度和超高的稳定性。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计，且*通孔较大，可更好的集成于显微及扫描系统中。
压电纳米级精密定位台采用压电陶瓷驱动的扫描台，平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，补偿量小，确保了平台的运动精度和超高的稳定性。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计，且*通孔较大，可更好的集成于显微及扫描系统中。
压电纳米级精密定位台应用领域
◆表面结构分析；
◆自动对焦系统；
◆共焦显微镜；
◆扫描干涉仪；
主要特点
◆高于行业标准3倍速度：<4ms的阶跃稳定时间和100μm的闭环位移控制；600Hz的响应频率；20N/μm的刚度
◆装备双传感器技术：在不同的负载下无需重新校准；优越的机械带宽；
◆的ZSY纳米传感器定位性能：0.1nm的定位噪音；0.01%的线性度；0.005%的剩余磁滞；
◆免工具安装适配器；
◆超级不胀钢结构设计获得*的聚焦稳定性；
型号 Model No. | PSVL36-100U-S | ||
轴 Axes | Z | ||
伺服特性 Servo | SG | ||
行程范围 Travel range （@120V） | 闭环 Closed loop | 80μm | |
开环 Open loop | 80μm | ||
分辨率 Resolution | 5nm | ||
重复定位精度 Repeatability | 0.05%F.S. | ||
线性度 Linearity | 0.2% | ||
俯仰/偏航/滚动 Pitching/Yawing/Rolling | 1” / 2” / 1” | ||
承载能力 Load capacity | 12N | ||
谐振频率 Resonant frequency | 0g | 300Hz | |
刚度 Stiffness | 0.3N/μm | ||
静电容量 Capacitance | 1.6μF | ||
线缆长度 Cable length | 1.5m | ||
尺寸(LxH） Dimensions | 36*36*20mm | ||
重量 Weight | 80g | ||
本体材质 Body material | 钢/铝（B） Steel/Aluminum | ||
表面处理:白色(W)/黑色(B) Surface treatment :[（W）White alumite /（B）Black alumite ］
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