一维（X轴）压电平移台采用压电陶瓷直推，以柔性铰链为导向使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点，采用硅位移传感器，相比于传统的电容式位移传感器，硅传感器使平移台拥有更高的精度和线性度以及较低的底噪。精度可以达到亚纳米，底噪低至10pm。
一维（X轴）压电平移台选型：
产品型号 | ESLP50-1 | ESLP100-1 | ESLP150-1 |
行程 | 50 | 100 | 150 |
zui大推力（N） | 16 |
zui大速度（mm/s） | 200 |
zui小步长（nm） | 50 |
光栅分辨率（um） | 0.5(1um和50nm)光栅可选 |
重复定位精度（um） | <2um | | |
zui大负载（kg） | 3.5 | 4.5 | 5 |
结构材质 | 铝合金/不锈钢 |
u 产品特点
l 高分辨率（0.01nm）
l 大行程1500mm
l 高速度，自振频率可达7000Hz
l 采用硅传感技术
l 超低底噪
l 柔性铰链导向
u 主要应用
l 纳米刻蚀
l 干涉测量
l 高速聚焦
l 自适应光学
l 超分辨显微镜
l 粒子追踪
上海纳动纳米位移技术有限公司（简称“纳动纳米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河泾新兴技术开发区，是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的*，专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发，并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等设备提供系统的技术解决方案，满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。 上海纳动纳米位移技术有限公司本着“创新，立足，精益打造纳米定位与运动控制中国制造的品牌“的目标，力求*国内技术空白，打破国外对中国的技术壁垒和国外产品垄断中国市场的局面，为中国智能装备产业和科研领域提供*运动和测控解决方案提供关键技术和打造坚实基础。
