上海纳动纳米位移技术有限公司
产地 | 国产 | 加工定制 | 否 |
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PF压电物镜定位台行程80微米是专门为聚焦显微而设计的,采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,物镜补偿量小,具有超高聚焦稳定性,物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。
PF压电物镜定位台行程80微米是专门为聚焦显微而设计的,采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,物镜补偿量小,具有超高聚焦稳定性,物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。
PF压电物镜定位台行程80微米主要特点:
应用:
晶圆切割•生物显微•白光干涉• 原子力显微镜•差动聚焦检测系统•显微光学成像
■ 技术数据
产品型号 | PFV**-80U(小负载型) | PFV**-80U-S(小负载型) | 公差 | |
运动自由度 | Z | Z | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | |
标称行程范围(@0~+120V) | 80 μm | 80 μm | ±20% | |
zui大行程范围(@-20~+150V) | 100 μm | 100 μm | ±20% | |
分辨率 | 2.5 nm | 5 nm | typ. | |
重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
线性度 | - | 0.1% F.S. | typ. | |
承载能力 | 2 N | 2 N | Max. | |
刚度 | 1.3 N/μm | 1.3 N/μm | ±20% | |
谐振频率 | 0g | 330 Hz | 330 Hz | ±20% |
静电容量 | 3.4 μF | 3.4 μF | ±20% | |
工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驱动电压范围(*)1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
线缆长度 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | 48×40×16.5 mm(不含适配器) | 48×40×19 mm(不含适配器) | - | |
重量 | 150 g | 150 g | ±5% | |
本体材质2 | 钢(W) | 钢(W) | - |
说明:
1.zui大驱动电压可在-20V~+150V使用;*使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。
2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。
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商铺:https://www.ybzhan.cn/st78756/
主营产品:压电陶瓷,压电纳米定位台,压电促动器,压电驱动,红外扫描台,中空式压电平台,压电陶瓷片,压电纤维片,压电点胶阀控制器,压电偏转镜,压电物镜聚焦平台
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