■ 技术数据
| 型号 Model No. | PM1H13-020U-S |
| 轴 Axes | X |
| 伺服特性 Servo | SG |
| 压电行程范围 Piezp Travel range （@120V） | 闭环 Closed loop | 20μm |
| 开环 Open loop | 20μm |
| 微分头调节范围 Micrometer Travel range | 13mm |
| 分辨率（Piezo） Resolution | 1.2nm |
| 分辨率（微分头） Resolution（Micrometer） | 10μm/5μm |
| 重复定位精度（Piezo） Repeatability | 0.1%F.S. |
| 线性度（Piezo） Linearity | 0.2%F.S. |
| 承载能力 Load capacity | 15N |
| 刚度 Stiffness | 0.5N/μm |
| 静电容量 Capacitance | 1.8μF |
| 线缆长度 Cable length | 1.5m |
| 尺寸(LxH） Dimensions | 13*30*31mm（不包含微分头尺寸） |
| 重量 Weight | 0.1kg |
| 本体材质 Body material | 钢（W） Steel |
表面处理:白色(W)/黑色(B) Surface treatment :[（W）White alumite /（B）Black alumite ］
