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压电纳米定位平台-电子/半导体检测仪器

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产品型号PSVL30-100U-S系列

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更新时间：2017-08-11 09:48:34浏览次数：350次

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上海纳动纳米位移技术有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：160条

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产品简介

· 集成化紧凑的设计· 无机械摩擦的柔性铰链设计· Z向运动范围zui高可达100μm· 可选择SG传感器位置反馈

详细介绍

技术数据：

型号

Model No.

PSVL36-100U-S

轴

Axes

伺服特性

Servo

行程范围

Travel range

（@120V）

闭环

Closed loop

80μm

开环

Open loop

80μm

分辨率

Resolution

5nm

重复定位精度

Repeatability

0.05%F.S.

线性度

Linearity

0.2%

俯仰/偏航/滚动

Pitching/Yawing/Rolling

1” / 2” / 1”

承载能力

Load capacity

12N

谐振频率

Resonant frequency

300Hz

刚度

Stiffness

0.3N/μm

静电容量

Capacitance

1.6μF

线缆长度

Cable length

1.5m

尺寸(LxH）

Dimensions

36*36*20mm

重量

Weight

80g

本体材质

Body material

钢/铝（B）

Steel/Aluminum

表面处理:白色(W)/黑色(B) Surface treatment :[（W）White alumite /（B）Black alumite ］

■ 外形尺寸

详情登陆：www.nanomotions。。ｃｏｍ，进行查阅

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