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示值范围 | 20um | 50um | 100um |
数显分辨率 | 0.1um | 0.2um | 0.5um |
线性误差 | ≤0.1um | ||
测量模式 | 精测模式 对比性测量模式 | ||
电压 | 240V | ||
气压 | 0.5-1PMa | ||
对比性误差 | ≤0.05um | ||
测量能力 | 多个几何测量 | ||
测量范围 | 直径、槽深最小1.5MM | ||
示值方式 | 触摸屏SPC图表统计CP值和CPK值 | ||
外形尺寸 | 300*340*220mm |
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