干式螺杆泵​

   螺杆真空泵是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成的一个工作室，转子与泵体之间没有磨擦且保持一定的间隙，两个转子与泵体之间形成了密封腔，当转子旋转时把密封腔内的气体不断地挤带至排气口排出。因螺杆真空泵无需油润滑或水密封，泵腔内*无油，因此螺杆真空泵是无油干式真空泵，在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有不可比拟的优越性，可较好地替代旋片式真空泵、滑阀式真空泵使用。

螺杆真空泵应用工艺：
1.电工：变压器、互感器、环氧树脂真空浇注、电容器真空浸油、真空压力浸渍。
2.工业炉：真空钎焊、真空烧结、真空退火、真空加压气淬、真空脱羟等。
3.真空镀膜：真空蒸发镀膜、真空磁控溅射镀膜、薄膜卷绕连续镀膜、离子镀等。
4.冶金：特种钢冶炼、真空感应炉、真空脱硫、脱气。
5.航空、航天：航天搭载飞船轨道舱、返回舱、火箭姿态调整舱、宇航服、宇航员太空出舱、飞机升空等真空模似试验。
6.干燥：变压法真空干燥、煤油气箱干燥、木材干燥、蔬菜冷冻干燥。
7.化工、制药：产品蒸馏、干燥、脱气、物料输送等。

螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。

1、真空度高，单泵极限压力≤1Pa，高真空区抽气量大。
2、工作效率高，功耗低。
3、泵腔内无油，对被抽系统无污染，可获得洁净真空。
4、螺杆泵转子间隙相对较小，极限真空度更高，适用于半导体、电子工业中要求无油洁净的工作场合；系列螺杆泵转子间隙相对较大，极限真空度相对低一些，泵腔及转子表面有镀镍层或PTFE涂层可供选择，可抽除大量水蒸气及多种腐蚀性介质，适用于化工、制药等工作环境较为恶劣的工作场合。
5、工作过程中无废油、废水排放，对环境无污染。
6、结构简单、紧凑，维修方便，占地面积小。

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干式螺杆泵​