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吉时利S500综合测试系统是基于仪 器的、可高度配置的系统，适合器件、 晶圆或晶圆盒的半导体特性分析。S500 综合测试系统基于已被证明的2600系列 系统数字源表源测量单元（SMU），提供 创新的测量特性与系统灵活性，可以根据需求进行升级。其*的测量能力， 再加上强大而灵活的自动特性分析套 件(ACS)软件，为客户提供全面的应用 范围和特性，这是市场上竞争产品所不具备的。
表1 2600B软件工具
| 特征/功能 | ACS Basic版本 | 基于Java即插即用软件 | Test Script Builder (TSB) |
|---|
| 说明 | 半导体特性分析软件， 用于元件测试、验证 与分析 | 迅速启动的、基于Java即插即用软件工具，支持快速和容易的I-V测试，主要用于台式和实验室用户 | 为TSP仪器定制的脚本编写工具 |
| 支持的硬件 | 2400系列、2600B系列、4200-SCS | 2600B系列 | 2600B系列，3700系列 |
| 支持的总线 | GPIB, LAN/LXI | LAN / LXI | GPIB, RS-232,LAN/LXI, USB |
| 功能 | 基于向导的直觉图形用户接口（GUI），丰富的测试测试库和曲线跟踪能力 | 直线/对数扫描、脉冲、自定义扫描、单点源测量注意：可使用2600B的新API实现精确定时和通道同步 | 总体灵活的自定义脚本，功能齐全的调试器 |
| 数据管理 | 公式工具，包括多种数学函数 | .csv文件导出 | 用户定义 |
| 安装 | 选购 | 不需要。内嵌在仪表中 | 免费下载或CD提供，安装在PC上 |
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