北京迈测仪器有限公司
材质 | 不锈钢 | 产地 | 国产 |
---|---|---|---|
工作温度 | 5-45℃ | 工作压力 | 3Mpa |
公称直径 | 6mm | 加工定制 | 是 |
精度等级 | 1 | 量程比 | 50:1 |
流量测速范围 | 12kg/h | 适用介质 | 气体 |
温度范围 | 中温 | 压力范围 | 中压 |
C30M型气体质量流量计采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量,由于温差量热只和气体的质量流量相关,所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。
±1%F.S.的准确度
±0.2%F.S.的高重复精度
响应时间快
概要
C30型气体质量流量控制器和C30M型气体质量流量计采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量,其中质量流量控制器可以对气体的质量流量进行精确的控制。由于温差量热只和气体的质量流量相关,所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。
本型号产品的满量程可以在 5SCCM到 10SLM的范围内任意定制,性价比高,是同类产品中的一款。
特点
国内同类产品
稳定性和可靠性高
±0.2%F.S.的高重复精度
满量程可以在 5SCCM到 10SLM的范围内任意定制
可应用于大多数腐蚀性气体
同类产品尺寸zui小
安装尺寸兼容
应用
真空镀膜设备
微反应装置
晶体制备设备
混气配气设备
燃烧测试设备
气相色谱仪及其它分析仪器
标定标准
标定气体:氮气(N2)
标定温度和压力: 温度—273.15 K(0℃)
气压—101325 Pa(760mm Hg)
主要技术参数
基本型号 | C30 | C30M |
---|---|---|
流量规格1(N2标定) | 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM | |
0~1,2,3,5,10 SLM | ||
调节阀类型 | 常闭式 | 无 |
量程比 | (5~100)%F.S. 或20:1 | |
流量分辨率 | 0.1%F.S. | |
准确度 | ±1.5%F.S. | |
线性 | ±1.5%F.S. | |
重复精度 | ±0.2%F.S. | |
响应时间 | ≤6sec | ≤2sec |
工作压差范围 | 0.1~0.5MPa (≤10SLM) | 0.02MPa~3MPa |
zui大耐压 | 3MPa | |
工作环境温度 | 5~45℃ | |
电缆接头 | DB15pin(针形) | |
输入输出信号 | 0~+5.00V (输入阻抗大于100kΩ,输出电流不大于3mA) | 0~+5.00V (无输入信号,输出电流不大于3mA) |
供电电源要求 | +15VDC(50mA),-15VDC(200mA) | +15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
对外单点泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m3/S(He) | |
介质接触材质 | 316,316L,密封填料 | |
密封材料 | 三元乙丙橡胶EPDM,氯丁橡胶CR,硅橡胶VMQ, | |
管道接头尺寸 | VCR型接头:1/4” | |
双卡套型接头:1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm | ||
外形尺寸 | 长×宽×高:127×30×100 mm | |
净重量 | 0.88kg | 0.72kg |
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