森泉（上海）光电科技有限公司
森泉（上海）光电科技有限公司
| 产地 | 进口 | 加工定制 | 否 |
|---|---|---|---|
| 类型 | 振动试验台 | 适用领域 | 科研 |
| 特性 | 其他 |
TMC 主动式压电陶瓷振动xiao除地面式平台SEM-Base ® VI是 STACIS 有源压电振动 xiao 除 的下一代产品。SEM-Base VI旨在支持所有商用扫描电子显微镜 (SEM)，以及许多聚焦离子束 (FIB) 和小型双束仪器。
TMC 主动式压电陶瓷振动xiao除地面式平台
SEM-base ® VI是 STACIS 有源压电振动 xiao 除 的下一代产品。SEM-base VI旨在支持所有商用扫描电子显微镜 (SEM)，以及许多聚焦离子束 (FIB) 和小型双束仪器。SEM-base VI提供改进的隔振性能、更快、更强大的控制器和 gao 级 图形用户界面 (GUI)。SEM-base VI将使更多实验室和设施达到满足工具制造商规格所需的地面振动水平。
SEM-base VI使用 du 特 的“串行架构"，其中振动传感器测量地板振动，而不是 you 效 载荷振动。这确保了与其他设计不同，you 效 载荷共振不会固有地限制振动隔离或导致不稳定。振动传感器是低频惯性速度传感器，可在难以测量的亚赫兹范围内实现 zui 大 灵敏度。结合我们 du 特 的压电执行器技术，SEM-base VI实现了 ji 高 水平的振动 xiao 除，即使在已经很安静的地板上也是如此。
SEM-base VI与以前的型号相比，平均可提供 6 dB 的隔振效果。此外，TMC 的下一代控制器 DC-2020 具有新的双核处理器，并为工具所有者和研究人员提供了一个非常简单易用的图形界面，用于快速系统评估和操作安心。通过以太网连接时，DC-2020 在用户浏览器中创建 SEM-base GUI，无需安装额外的软件或应用程序。或者，用户可以通过板载菜单驱动的液晶显示器 (LCD) 与控制器进行交互。
优势
硬安装技术——SEM-base VI 与所有内部 SEM 振动控制系统兼容，并积极减轻从 0.6 Hz 开始的低频地板振动。
主动惯性振动 xiao 除——SEM-base VI 使用高灵敏度、低频惯性速度传感器来实现高水平的振动衰减，即使在安静的地板上也是如此。
采用压电技术的串行设计——du 特 的串行设计和专有的高压压电技术产生了从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽主动带宽和惯性主动振动 xiao 除，从 2 Hz 开始减少 90%。
TMC 主动式压电陶瓷振动xiao除地面式平台
规格
性能规格
| 活动自由度 | 6 |
| 活动带宽 | 0.6 赫兹 - 100 赫兹 |
| 无源固有频率 | 12Hz 标称 |
| you 效 有源谐振频率 | 0.5赫兹 |
| 1 Hz 时的隔离 | 40% - 70% |
| 2 Hz 时的隔离 | 90% |
| ≥3 Hz 时的隔离 | 90-98% |
| 内部噪音 | <0.1 纳米 RMS |
| 工作负载范围 | 标准容量：900 - 2,500 磅（408 - 1134 千克） 高容量：2,500 - 3,200 磅（1134 - 1452 千克） |
| 距平台 zui 大 4 英寸（102 毫米）的磁场发射 | <0.02 μG 宽带 RMS |
设计、尺寸以及环境和实用要求
| 环境与 an 全 | 符合 CE 和 RoHS |
| 主动隔离元件 | zui 小 容量为 3300 lb. (1500 kg) 的压电执行器接收来自高压放大器的信号，输出电压高达 800 VDC。垂直致动器支持隔离的 you 效 载荷。 |
| 无源隔离元件 | 单一刚性弹性体（无需压缩空气供应） |
| 振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器 测量隔离器下方的地面振动 并提供与振动运动速度成正比的电压 |
| 主动反馈控制回路 | 在支撑隔离表面的弹簧下方测量、处理和衰减地板振动 |
| 尺寸 (WxD) | 35.25 x 44.25 英寸 895 x 1124 毫米 |
| 高度 | 标称 6.3 英寸（160 毫米）， 当 SEM-base 关闭时不会改变 |
| 工作温度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 储存温度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 湿度 | < 80% @ 68° F | 20°C，zui 大 露点18°C |
| 系统电源要求 | 100、120、230、240 伏交流电 50/60 赫兹交流电；<600 W 符合 CE 标准 |
| 地板位移 | <800 微英寸。(20 μm) 低于 10 Hz |
内置控制器规格
| 处理器 | 150/75 MHz 双核 |
| 采样率 | 10 赫兹 |
| 模拟输出 | 16通道 |
| 模拟输入 | 16通道 |
| 状态灯 | 单灯 |
| 前面板端口 | 1x 串行 U,S,B 2.0 1x 串行 Micro-U,S,B 1x 以太网 RJ-45 2x BNC |
| 用户界面 | 前面板 LCD 显示 chao 级 终端 扩展 GUI上的字符菜单Microsoft Windows Embedded Ethernet GUI |
表现
在 VC-C（500 μin./s，12.5 μm/s RMS）下通过模拟振动测试了 1800 磅（818 千克）有效载荷
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