小型离子溅射仪/只能溅射 型号:bz19-sbc-12库号：m121692
主要性能指标：
玻璃处理室：φ100mm、高度130mm
试样台尺寸：φ40mm可同时放6个样品杯
金靶尺寸：φ58mm
1使用膜厚监控
1.打开总电源，打开氩气开关（两成保持在0.035Mpa左右，溅射时也要注意氩气的流量）。
2.按主机背面的开关按钮，进入开机界面，根据提示进行下面一系列的操作。
3.接下来仪器就开始自动洗靶，自动溅射，溅射结束后要稍等片刻，然后按stop放气。待放气操作完成后，开盖，取出样品。
4.Target B type操作同上。
2不使用膜厚监控
1.其余操作步骤同上，但要根据自己的需要设置溅射电流和溅射时间（长时间是4min），和循环次数（多循环9次），按上下键设置时间。
2.接下来仪器就开始自动洗靶，自动溅射，溅射结束后要稍等片刻，然后按stop放气。待放气操作完成后，开盖，取出样品。
3.B靶操作同A靶。
3常见故障
| 故障现象 | 判断与解决方法 |
溅射电流不稳定忽高忽低 | 阴极罩与靶的固定环距离过近。逆时针旋转阴极罩，调整间距。 |
真空过低 | 旋紧放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面 |
使用一段时间后，溅射电流变小 | 检查靶材有无变色、破裂和油污等现象。前两者更换靶材；后者被油蒸汽污染，使用无水乙醇清洁，待干后方可抽真空。 |
使用一段时间后，真空过低 | 检查溅射室中或管道内是否有油，可用汽油清洗。 |
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小型离子溅射仪 型号:bz19-sbc-12库号：m121692 查看hh
主要性能指标：
玻璃处理室：φ100mm、高度130mm
试样台尺寸：φ40mm可同时放6个样品杯
金靶尺寸：φ58mm
真空系统：直联旋片真空泵2l／s
真空检测：皮氏计
真空保护：20pa配有微量充气阀调节工作真空
工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节 -
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类型：耗材
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显示操作面为30°斜面，充分考虑操作的便捷和视觉体验，方便观察操
