高温压力传感器的选型及发展方向

　　高温压力传感器是工业实践中最为常用的一种压力变送器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道送风、锅炉，熔炉等众多行业。

 

　　高温压力传感器由硅膜片、衬底、下电极和绝缘层构成。其中下电极位于厚支撑的衬底上。电极上蒸镀一层绝缘层。硅膜片则是利用各向异性腐蚀技术，在一片硅片上从正反面腐蚀形成的。上下电极的间隙由硅片的腐蚀深度决定。硅膜片和衬底利用键合技术键合在一起，形成具有一定稳定性的硅膜片电容压力传感器。

 

　　高温压力传感器工作原理

 

　　高温压力传感器的工作原理风压传感器的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。

 

　　高温压力传感器产品应用

 

　　高温压力传感器广泛应用于各种工业自控环境，涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道送风、锅炉，熔炉等众多行业。

 

　　高温压力传感器产品选型

 

　　1、测量的是何种压力。

 

　　2、所测量的介质。在选择高温熔体压力传感器时需要考虑的关键因素是所测量的介质。

 

　　3、需要达到什么样的精度。

 

　　4、此高温压力传感器的耐温性、互换性、时间稳定性和坚固程度。

 

　　5、此高温压力传感器使用何种输出，需要的激励电压，以及怎样将传感器连接到自己的电气系统中。

 

　　高温压力传感器发展方向

 

　　1、向高精度发展

 

　　2、向高可靠性、宽温度范围发展

 

　　3、向微型化发展

 

　　4、向微功耗及无源化发展

 

　　5、向智能化数字化发展