等离子体表面处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态,利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。中文名等离子体表面处理仪外文名PlasmaCleaner定义电子设备目的清洁、改性、光刻胶灰化等用途医用材料研究,生物芯片领域处理对象金属,半导体,氧化物等1简介等离子体表面活性仪(PlasmaCleaner)2工作原理首先,我们来说一下什么叫做等离子体。等离子体又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质,它广
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