特点：
1. 真正的非接触式三维测量
2. 测量轮廓台阶高度范围从小于1nm到高达10mm
3. 基于白光干涉的高精度定量共焦模式，自动调焦，垂直分辨率高达0.1nm
4. 高速扫描，无须制样，无须真空，金属非金属均可，快速直观，操作方便
5. *的综合图象处理软件，致力于采集，分析，统计和可视化数据处理等
强大的软件功能：
SPIP提供了二维分析、三维分析、表面纹理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、体积、角度计算、曲率计算、模拟一维分析、数据输出、数据自动动态存储、自定义数据显示格式等。综合绘图软件可以采集、分析、处理和可视化数据。表面统计的计算包括峰值和谷值分析。基于傅立叶变换的空间过滤工具使得高通、低通、通频带和带阻能滤波器变的容易。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值, 交互缩放。X-Y和线段剖面。三维线路、混合和固定绘图。
主要技术参数
物镜倍数: 50x，20x，10x，5x任意可选，zui多可同时搭载6枚物镜
垂直分辨率 0.1nm, 0.02nm（高精度模式）
CCD相机像素：1024×1024
扫描范围: 150mm x 150mm
