稀释气质量流量计可控制到0-10SLM；
源气质量流量计可控制到0-100SCCM；
4路校准气入口和1路吹扫口；
1路稀释气入口，5路输出口和1路排空口
- 稀释气质量流量计可控制到0-10SLM；
- 源气质量流量计可控制到0-100SCCM；
- 4路校准气入口和1路吹扫口；
- 1路稀释气入口，5路输出口和1路排空口
稀释入口：1路标准；
源气入口：4路标准，1路吹扫；
稀释气质量流量控制：0-10SLM（0-20SLM可选）；
源气气质量流量控制：0-100SCCM/0-2SLM；
流量精度：≤±1%FS；
流量重复：≤±0.15%FS；
线 性：≤±0.5%FS；
入口压力：20-35 PSIG；
多路输出：标准6个输出口；
可选件：内置臭氧发生器
5SLPM下0.05-1.5ppm；1%SP或5SLPM下2ppb
紫外吸收光度计
量程：0-0.5，1.0，2.0ppm
内置渗透管气体发生器
内置臭氧发生器参数：
输出：5SLPM下0.05-1.5ppm；
精度：1%SP或5SLPM下2ppb；
流量：100±1 SCCM；
内置紫外吸收光度计参数：
量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；
线性：±1ppb或±1%FS；
精度：±1ppb；
内置渗透炉参数：
材质：玻璃或特氟龙；
