P-18系列芯明天放大机构式压电扫描台-仪表网

公司介绍主营产品

哈尔滨芯明天科技有限公司是专业从事微运动器（压电陶瓷）和微运动控制器（压电陶瓷控制器）产品的开发、生产、销售及服务的高科技企业，我们的微运动器和微运动控制器产品是推动微制造、微工业、微军事、微生物、微医疗、微光学等微观领域发展的核心技术，是了解和操纵微观世界的机器心脏。

哈尔滨芯明天科技有限公司经过多年的项目研究与技术积累，拥有了自己的核心技术，开发出了系列化的微运动器与微运动控制器产品，广泛地应用于国内各高校、科研院所及生物显微镜、光学仪器、燃油喷射系统、微小器件加工机床的公司；公司与哈尔滨工业大学的多个研究所有着多年的密切合作关系，按照科研与产业化相结合的道路持续发展；公司拥有雄厚的技术储备和研发制造能力，并且拥有一群充满热情和富有创新能力的青年队伍。

微运动器（压电陶瓷）产品是微小运动或微小变化的执行器，典型特点是体积小、重量轻、输出力大、功耗低、运动速度快、运动精度高、运动分辨率高。

微运动控制器（压电陶瓷控制器）产品是控制微运动器如何产生和产生多大的微小运动或变化的控制器，与微运动器配套使用；具有液晶显示、智能控制算法、驱动功率大、嵌入式计算机控制等特点。

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产地	国产	加工定制	是

芯明天放大机构式压电扫描台 P-18压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描，大通光孔径为Ø35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。

芯明天放大机构式压电扫描台产品详情

芯明天放大机构式压电扫描台 P-18压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描，大通光孔径为Ø35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。

芯明天放大机构式压电扫描台P-18压电扫描台特性

• 大位移370μm

• 大承载3.5kg

• 通孔直径：Ø35mm

• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快

1~3维扫描台

P18系列压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。

大位移、大承载、高刚度、高频响

P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以实现大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版本获得优异的线性度与重复定位精度。

P18采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承载等特点，大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配套芯明天大功率控制器响应时间可达5ms，是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用。

P-18压电扫描台典型应用

• 图像处理与稳定 • 扫描显微

• 干涉/计量 • 表面检测

• 半导体测量 • 光学计量

应用实例-纳米光刻

在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。

P-18压电扫描台技术参数：

型号	尾缀S-闭环尾缀K-开环	P18.X200S P18.X200K	P18.X300S P18.X300K	P18.XY200S P18.XY200K	P18.XY300S P18.XY300K	P18.XYZ200S P18.XYZ200K	单位
运动自由度		X	X	X、Y	X、Y	X、Y、Z
标称行程范围(0~120V)		200	300或±150	200/轴	300或±150/轴	200/轴	μm±20%
大行程范围(-20~150V)		280	370或±185	280/轴	370或±185/轴	280/轴	μm±20%
传感器类型		SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
通孔尺寸		Ø35	Ø35	Ø35	Ø35	Ø35	mm
闭/开环分辨率		8/5	10/5	8/5	10/5	8/5	nm
闭环线性度		0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.15/-	0.1/-	0.15/-	0.1/-	0.15/-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<10	<15	<10	<15	<15	µrad
推/拉力		60/20	150/150	60/20	150/150	30/10	N
运动方向刚度		0.3	0.5	X0.3/Y0.3	X0.5/Y0.5	X0.1/Y0.1/Z0.1	N/μm±20%
空载谐振频率		500	600	X200/Y450	X250/Y500	X300/Y200/Z120	Hz±20%
闭/开环空载阶跃时间		30/5	30/10	50/5	50/10	50/5	ms±20%
闭环空载工作频率	10%行程	100	50	50	40	30	Hz±20%
闭环空载工作频率	行程	30	15	15	10	5	Hz±20%
大承载		2	3.5	1.5	3	1	kg
静电容量		11	21	11/轴	21/轴	11/轴	μF±20%
材质		铝	铝	铝	铝	铝
重量		200	220	360	380	600	g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

关键词：图像处理传感器

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