集成式压电驱动器无摩擦,柔性铰链导向系统使得这一系列产品可实现纳米级的分辨率,同時可选备应变计或电容位置传感器,可实现非常准确的重复性.
集成式压电驱动器特点：
不同转子长度导致不同行程
分辨率达0.03纳米
不工作时自锁，无热量产生
无磁性和真空兼容工作原理
三种技术：NEXLINE
、NEXACT和PICMAWalk
从OEM电机到多轴定位系统的集成度
技术参数：
1600Vp-p单通道（差分输出）
• 输出电压1600Vp-p (±800V)
• 输出电流40mA
• 功率32W
• 带宽（-3dB）DC~150KHz
• 压摆率200V/μs
• 低失真
• 增益数控0~240（0.1step）可调
• 输入阻抗50Ω/5KΩ可调
• 一键保存设置（Save键
目前，多层式驱动器制作时，通常是采用传统流延成膜多层共烧制备工艺，包括以下步骤
(1)流延成型，其是在原料中加入有机溶剂后制作浆料，并将浆料流延得到膜层；
(2)烘干，即对流延得到的膜层进行烘干；
(3)叠加，将烘干后的膜层镀上银电极，并进行叠加；
(4)共烧，即将叠加后得到的多层膜高温煅烧，得到多层结构的压电驱动器。现有采用传统流延成膜多层共烧制备工艺中，需要使用有机溶剂，而有机溶剂通常有毒；共烧过程中，膜层上镀的银电极容易扩散，导致制作后的压电驱动器性能下降、退化；同时，现有制备工艺流程复杂，安全性较差，制作成本较高。此外，现有技术也有通过采用环氧树脂黏贴方式得到压电驱动器。
综上，现有压电驱动器的多层共烧制备工艺中，多层共烧过程中易导致膜层上银电极扩散，压电陶瓷层之间易产生蠕变，使得压电驱动器的能量转换效率低，位移损失较大，压电驱动器性能较差；此外，现有压电驱动器制备工艺复杂，质量不易控制。而现有采用环氧树脂方式制备压电驱动器时，制备得到的压电驱动器无法适用于高温环境工作。
