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芯明天直驱机构式压电扫描台P77系列压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心为106mm大通光孔，压电陶瓷直驱机构，内置高性能压电陶瓷，可以实现Z 轴20μm的位移行程，无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率，闭环版本定位精度可达纳米级，是光学移相器的选择。
芯明天直驱机构式压电扫描台P77压电扫描台典型应用
• 显微成像
• 表面检测
• 闭环重复定位精度高
• 干涉/计量
• 精密定位
• 移相器 •
光学捕获
应用案例
大孔径、大承载、高谐振频率
P77系列压电扫描台采用优异的柔性铰链导向机构设计， 利用有限元分析优化， 刚度可达8 N/ μm，空载谐振频率 300Hz。
闭环版本内置高精度传感器，对位移实时监测反馈，可 实现纳米级的重复定位精度及线性度。
压电扫描台中心106mm的大通光孔，该产品已广泛应用于激光平面干涉仪等设备。
芯明天P77压电移相器以其大通孔、纳米级分辨率、高精度等特 点广泛应用于现代干涉仪中，大大提高了干涉仪的测量精度。
P77压电扫描台特性：
Z轴运动
• 大行程20μm
• 大承载5kg
• 通孔直径：Ø106mm
技术参数：
|
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P77.Z20S P77.Z20K |
单位 |
| 运动自由度 | Z |
| |
| 标称行程范围（0~120V） | 14 | μm±20% | |
| 大行程范围（-20~150V） | 20 | μm±20% | |
| 传感器类型 | SGS/- |
| |
| 通孔尺寸 | Ø106 | mm | |
| 闭/开环分辨率 | 1/0.5 | nm | |
| 闭环线性度 | 0.2/- | %F.S. | |
| 闭环重复定位精度 | 0.1/- | %F.S. | |
| 俯仰/偏航/滚动 | <10 | µrad | |
| 推/拉力 | 120/50 | N | |
| 运动方向刚度 | 8 | N/μm±20% | |
| 空载谐振频率 | 300 | Hz±20% | |
| 闭/开环空载阶跃时间 | 5/2.5 | ms±20% | |
|
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 60 |
Hz±20% |
| 行程 | 10 | ||
| 大承载 | 5 | kg | |
| 静电容量 | 5.4 | μF±20% | |
| 材质 | 铝 |
| |
| 重量 | 1600 | g±5% | |
