BROOKS流量控制器运用热动力学原理,一个有精确电源的加热器为内有连续稳定气流的
传感器套管的中部加热,在同一套管距加热器等距的地方各有一个电阻性的温度测量元件。
没有气流时,到达两个温度测量元件的热量是相等的:有气流时则气流带走热量,两温度
测量元件就有了温度差异,温度差异的大小和流量的大小成正比。该温度差异通过桥式电
路来反映,然后放大装置,以0-5V的输出电压输出到控制电路。
◎在无流量的情况下,热量会均匀的分散在每个温度元件中,随着流量的增加,流体带着
热量从上游(该处温度为T1)到达下游,则下游温度上升(该处温度为T2),不同的温
度上升通过两处元件显示,这种差异均衡的计量了气流或流速,电路显示温度的不同而
放大器提供输出量给控制电路也就是0.5伏的输出信号。控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制精确电磁阀。当设定值低于2%时,控制阀*关闭,控制阀由它的控制
电路控制能*打开或关闭。◎
控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制精确电磁阀。当设定值低于2%时,
控制阀*关闭,控制阀由它的控制电路控制能*打开或关闭。