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S20/S21压电偏摆/旋转台为一维θz旋转台，产品体积小巧，大旋转角度8.5mrad，承载能力达2kg，可带动镜片做精密旋转运动。
特性：
• θz旋转
• 大旋转角度8.5mrad
• 闭环定位精度高
• 响应速度快
• 体积小巧
典型应用
• 光路调整 • 干涉
• 光束扫描 • 计量
应用实例
S21系列压电旋转台可以与芯明天任意平台或倾斜台配合使用， 组成多轴精密压电定位台，用于多维精密直线与旋转定位操作。
小体积、高分辨率、高精度
S21θz一维旋转台采用机构放大设计原理，可以实 现大8.5mrad的旋转，体积小巧、结构紧凑，尺寸仅 为60×60×15mm，非常易于集成到精密旋转设备中。
采用压电陶瓷作为驱动元件，台体采用柔性铰链机 构，无摩擦、无回差，可以实现0.2μrad的分辨率。内 置SGS传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精 度，在光路精密角度调整中起着非常重要的作用。
驱动控制方式
S21为θz一维压电旋转台，单通道压电控制器即可驱动控制，闭 环版本P21配套E01系列闭环控制器，实现θz高精度旋转定位控制。
N20/P21压电偏摆/旋转台技术参数：
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | S21.R7S S21.R7K | 单位 |
运动自由度 | θz | ||
标称旋转角度 (0~+120V) | 6 | mrad±20% | |
大旋转角度 (-20~+150V) | 8.5 | mrad±20% | |
传感器类型 | SGS/- | ||
闭/开环分辨率 | 0.4/0.2 | μrad | |
闭环线性度 | 0.5/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.2/- | %F.S. | |
推/拉力 | 10/5 | N | |
运动方向刚度 | 1 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 1.1 | kHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 30/1.5 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% |
行程 | 15 | ||
大承载 | 2 | kg | |
静电容量 | 1.8 | μF±20% | |
材质 | 铝 | ||
重量 | 105 | g±5% | |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
