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旋片式真空抽气系统性能优点:
采用两台真空主机同时启动,快速达到设定真空数值后自动切换为单台使用,根据用户时间设定值每间隔一定时间后两台真空主机之间可以自动切换使用,延长真空系统使用寿命,并便于日后对真空系统的保养维修。整机采用全封闭式喷塑结构,配套有自动散热系统,防止空气中的油雾及粉尘造成对真空系统的侵蚀。
真空系统的工作原理
启动系统主真空泵组开始工作,直到真空罐内真空度达到设定的上限值,真空泵自动停止运行,*真空系统内的真空由管路上的真空止回阀自动截止而得到维持。如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时,备用真空泵组自动启动。由此循环往复,真空系统的真空度能够维持稳定的真空源,满足生产的要求。
真空系统应用:
是以旋片真空泵作为真空获得设备,以真空罐作为真空存储设备的全自动真空度控制成套系统。对于频繁使用真空源而所需抽气量不太大的场合下,该系统比直接使用真空泵大大节约了能源,并有效提高了真空泵的使用寿命。目前这种泵已普遍应用于各类食品的真空包装、橡胶和塑料工业的真空吸塑成型、印刷工业的纸张输送、各类铸件的真空浸渍防漏、真空夹具、真空干燥、真空过滤、真空动力试验以及医院手术室的真空吸引等在本型泵所能达到的真空范围内的各种真空处理。
几种常见的超高真空系统
1.扩散泵串联机械泵串联冷阱系统
2.涡轮分子泵串联机械泵的真空系统
3.溅射离子泵无油超高真空系统
4.低温泵无油超高真空系统
5.组合超高真空系统
降低真空系统漏气率的措施:
1.真空系统的结构
真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键,真空系统的结构合理与否,将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。
(1)尽可能地避免出现小曲率半径的死角,要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。
(2)抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道,采用圆弧过渡,使气路畅通无阻,但要考虑清洗清扫的方便性。
(3)认真设计真空室内各种连接件的结构,使气路畅通,避免气路堵塞。
(4)打磨抛光真空系统内表面,表面越光亮就越不易气体吸附,越容易获得真空。
(5)尽可能减小真空室的体积,缩短管路系统。
2.密封形式的选择
密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式,对于人工晶体生长设备,一般需要的真空度在lO-3Pa以下,因此,无需采用金属密封。以TDR--70型单晶炉为例,我们选择磁性流体密封作为旋转动密封,选择高精度大伸缩量的焊接波纹管进行移动密封,小直径轴的旋转密封选用“O”型密封圈或威尔逊密封,各种静密封则采用“0”型密封圈密封形式,直径压缩比为25%。
密封件材质的选用:真空度在lO-3Pa以下的真空系统,密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是,考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度高可达2300℃,密封部位进行水冷后,其温度在80℃左右,个别处温度可达100℃以上)。所以,要选择比较理想的密封圈材料。
用于真空密封橡胶材料,除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外,还要求有低的渗透率和出气率,良好的耐热性耐油性,同时要有一定的强度、硬度和弹性等。
3.静密封结构的选择
各种真空系统中,80%以上的密封为静密封,静密封效果的好坏,对系统的真空度及漏气率有很大的影响。因此,要对静密封结构进行认真设计,以达到理想的效果。
对静密封结构的设计,主要考虑如何选择主要密封面、如何减小残留气体及如何充分发挥橡胶密封圈功能。
无论是矩形密封槽、燕尾型密封槽还是梯形密封槽,其槽底较小的粗糙度容易获得为主要密封面,而其侧面则较小的粗糙度往往不易获得。同时,为了消除残留气体,在存在残留气体处设计了贯通孔,使系统内部各处畅通无阻。
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