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分子束外延沉积速率监测/控制系统
适于精确的MBE分析，其他气体分析和科学实验使用。

XBS 的高灵敏度和数据的快速采集，能够提供生长速度低至0.01 Å/s的质谱信号。

·交叉离子源，束接收角同轴的横断面呈±35°

·离子源控制，用于软离子化和表观电势质谱

·2mm束接受孔，以利特殊使用者操作

·一级过滤处增加射频，抗污染物能力增强
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分子束外延沉积速率监测/控制系统产品详情

分子束外延沉积速率监测/控制系统
适于精确的MBE分析，其他气体分析和科学实验使用。

XBS 的高灵敏度和数据的快速采集，能够提供生长速度低至0.01 Å/s的质谱信号。

·交叉离子源，束接收角同轴的横断面呈±35°

·离子源控制，用于软离子化和表观电势质谱

·2mm束接受孔，以利特殊使用者操作

·一级过滤处增加射频，抗污染物能力增强

分子束外延沉积速率监测/控制系统
适于精确的MBE分析，其他气体分析和科学实验使用。

XBS 的高灵敏度和数据的快速采集，能够提供生长速度低至0.01 Å/s的质谱信号。

·交叉离子源，束接收角同轴的横断面呈±35°

·离子源控制，用于软离子化和表观电势质谱

·2mm束接受孔，以利特殊使用者操作

·一级过滤处增加射频，抗污染物能力增强

关键词：控制系统

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