用于洁净气体的低压降气体流量控制器-仪表网

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产地	进口	加工定制	是

130+气体校准，包括纯气体和混合气体
同时显示压力、温度和质量流量
按键界面操作简单
NIST可追溯性标准
0.5 SCCM~500 SLM满量程范围
典型响应时间为50~100 ms
调节比为200：1
位置不敏感
±0.8%读数精度
RS232标准
自定义实时气体混合编程
多可存储20种用户定义的气体混合物

用于洁净气体的低压降气体流量控制器产品详情

FMA-LP2600A系列质量流量控制器在层流场中使用差压原理来检测并控制质量流量。流量计中的层流元件(LFE)迫使气体进入层流状态（经过整流处理）。按照泊肃叶方程，在这一区域体积流量与压降呈线性关系。使用差压传感器测量LFE固定距离的压降情况。同时结合气体的粘度准确判定体积流量。引入单独的温度和压力传感器，并根据一系列标准条件修正气体流量。这种标准化流量通常称为质量流量，使用标准立方厘米/分钟(SCCM) 或标准升/分钟(SLM)等单位表示。

控制器使用真正的比例阀联接到流体，以便使用积分式 PID回路控制器来控制流量。标准设备包括 0 ~ 5V输出（可选4 ~ 20 mA）和RS232 通信。可从前端键盘或通过RS232通信调整气体选择功能和设定值。体积流量、质量流量、压力以及温度均可通过RS232连接查看或记录。在距离为46m（150’）的同一串口连接上，同时多可与26台设备进行多点通信。

关键词：质量流量控制器流量计传感器压力传感器标准

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