13000系列真空层流真空闸阀
13000系列层流闸阀真空闸阀以一个层流端口嘴为特征, 这样可以有效的从气流中密封阀动装构. 为了额外的保护,在阀体上部和下部都有安装净化清洗流道以使惰性气体流入来防止工业废气进入这些地方. 另一个特点是有一个正面的关闭装置使这个真空阀门真空闸阀可以保持密封的完整性, 甚至在遇到动力随着压力下降而损失的时候.
两个分开的支架可以实现电导（全开）或者0%电导（全关）. 在打开的位置,一个流孔从流动路程和所有内部部件是隔离开的。这个孔口提供了一个通过发力的清洁的连续的流动路程并且减少了和任何一个阀体装置的工业废气接触. 关闭位置使用一个传统的密封胶圈以产生1x10E-9Torr的真空密封. 线性驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器并且减少旋转密封圈的必要性。*的气缸设计使冲击和振动减少到小. 此设计非常有益于半导体制造和其他敏感加工工业要求操作时相对自由振动的.
这个HVA 不锈钢阀门真空闸阀提供了的业界小的接口. 阀体和所有主要内部部件在1100 ℃, 1x10E-6Torr的真空炉中焊接的, 确保了大的完整性. 这就减少在传统的焊接波纹管阀门里发现的虚漏和缺陷了. 在保养方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空闸阀从整个系统中拆卸出来。
13000系列层流真空闸阀产品特点
1. 气动驱动
2. 不锈钢焊接波纹管
3. 标准或者定制法兰
4. 电磁阀控制并带有手动超控
13000系列层流真空闸阀产品规格
连接形式： | 标准或定制法兰 |
|---|---|
主体材料： | 不锈钢 |
公称通径： | DN40-DN300 mm |
漏率: | 2x10E-10 AtmCC/Sec |
压力范围: | 1x10E-9 Torr |
烘烤温度: | 《200℃ |
适用介质： | 水、蒸汽、空气、高腐蚀气体 |
密封形式： | 软密封型 |
驱动方式： | 气动 |
使用寿命: | 视系统而定 |
13000系列层流真空闸阀产品应用
层流闸阀真空闸阀可以用在蚀刻,化学蒸汽沉积等其他要用高腐蚀气体,可能损坏其他阀门的加工中。标准真空阀门真空闸阀不可能承受不断的工业废气侵入. 广泛的半导体应用已经证明这些高真空阀门真空闸阀是过程工艺系统的一笔宝贵财富.
13000系列层流真空闸阀产品部件图
