工作原理
罗茨泵的工作原理如图一所示,工作时,被抽气体由进气口进入转子与泵体之间,这时一个转子和泵体把气体与进气口隔开,被隔开的气体(如图中影线部分所示在转子连续不断的旋转过程中,被送到排气口。在图(a中,V0空间是处在封闭状态的,因此,没有压缩和膨胀,但当转子的峰部转到排气口边缘
时,由于V0部分的压力较之排气口处的压力低,gis真空泵抽真空装置为了使相连体积内压力均匀,气体就会从排气口处扩散到V0区域,其扩散方向与转子旋转方向相反。当转子再转动时,把V0处的气体压缩到排气口将其排出。这时转子的另一面与进气口相连部分则吸入气体,当转子不断地旋转时,重复上述抽气过程不断地排出流进来
的气体。这种工作过程相当于转子空间由某一最小值增加到最大值,gis真空泵抽真空装置然后再由最大值减小到最小值。这就是罗茨真空泵的容积作用原理。
罗茨泵在入口压力很低情况小工作时,由于转子转速很高(1000r/min--3000r/min,转子表面的线速度接近于分子的热运动速度,这时碰撞在转子上的气体分子被转子携带到压力较高的排气口,再被排除。这就是罗茨真空泵的
产品特点:
1. 转子与泵腔、转子与转子之间有一定的间隙,互不接触,不需要用油润滑。 2. 转子具有良好的几何对称性,可以提高转速,从而能够制造出结构紧凑的大抽速泵来。
3. 泵工作时振动小,容积大,容积利用系数λnp=0.5左右。
4. 在泵腔内并不发生像机械真空泵那样的压缩现象,因此它不需要排气阀。也
正因如此,可抽除可凝性蒸汽。
5. 启动快,能够在短时间内达到极限真空。功率小,运转维护费用低。 6. 在很宽的压力范围内(1x103Pa~1Pa有很大的抽速,能迅速排出突然放出的气体,弥补了扩散泵和油封机械泵在(1x103Pa~1Pa时抽速都很小的缺陷。因此,做增压泵用。罗茨泵的缺点是泵的转子制造较难,抽除氢气
的效果不如油增压泵高。