Nα-1H气体减压器专为超高纯度气体,半导体用(毒,腐)气体设计,满足超大规模集成电路的使用要求。产品依据严格的标准设计、清洗、生产、测试、包装。
工作条件:
进口压力 | 25MPa |
出口压力 | 0~0.2MPa,0~0.4MPa,0~0.6MPa |
原压变动 | 每0.7MPa压力变化0.005MPa |
温度 | -40~+60℃ |
内漏率 | ≤1×10-10Pa.M3/Sec.He |
外漏率 | ≤1×10-10Pa.M3/Sec.He |
内表面粗糙度 | Ra≤0.1μm |
产品特点:
适用于VMB & VMP
提供Hastelloy® 内部件选项
内表面电解抛光处理Ra≤0.1μm
对于CL2、N2O和NH3请选择*配置
每台减压器进行单独的压力测试、功能测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测
无内部弹簧,内部死体积小,大大减小了颗粒物的存留
主要部件材料:
介质 | CL2 | N2O | NH3 | Standard |
体接触部分 Wetted parts | ||||
阀体 Body | SUS316L(VIM+VAR) | |||
膜片 Diaphragm | SUS316L(VIM+VAR)/ Hastelloy® C-22 | |||
阀针 Poppet | SUS316L(VIM+VAR) | |||
密封垫 Seal | PFA | Vespel® | PTFE | PCTFE |
非气体部接触部分 Non-wetted parts | ||||
调节手柄 Handle | ABS | |||
阀盖 Cap | SUS316L | |||
弹簧 Spring | SWP-A |