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携式电阻率测试仪
仪器采用GB/T 1552-1995硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法
（2） 范围：电阻率10-4～10+4欧姆·厘米，分辨率为10-4欧姆·厘米
方块电阻10-3～10+5欧姆/□，zui小分辨率为10-3欧姆/□
（3） 可测量材料：半导体材料硅锗棒、块、片、导电薄膜等
四探针电阻率测试仪的主要技术指标
（1） 仪器采用GB/T 1552-1995硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法
（2） 范围：电阻率10-4～10+4欧姆·厘米，分辨率为10-4欧姆·厘米
方块电阻10-3～10+5欧姆/□，zui小分辨率为10-3欧姆/□
（3） 可测量材料：半导体材料硅锗棒、块、片、导电薄膜等
可准确测量的半导体尺寸：直径≥20㎜
可测量的半导体尺寸：直径≥8㎜
（4） 测量方式：平面测量。
（5）电压表：双数字电压表，可同时观察电流、电压变化
A.量程0~199.99 mV
B.基本误差±（0.004%读数+0.01%满度）
C.输入阻抗﹥1000MΩ
D. 4 1/2位数字显示，0～19999
（6） 恒流源：
A.电流输出：直流电流0.003～100 mA连续可调，有交流电源供给
B.量程：10uA，100uA，1 mA，10 mA，100 mA五档
C.恒流源精度：各档均≤±0.05%
（7） 四探针测试探头
A.探头间距1.59㎜
B.探针机械游率：±0.3%
C.探针直径0.8㎜
D.探针材料：碳化钨，探针间及探针与其他部分之间的绝缘电阻大于109欧姆。
（8） 便携式电阻率测试仪手动测试架：
JCKDJ-1A 型手动测试架探头上下由手动操作，可以用作断面单晶棒和硅片测试，探针头可上下移动距离：120mm，测试台面200x200（mm）。
（9） 便携式电阻率测试仪测量软件：
JCKDY测量系统微控制器及配套软件于硅晶体的电阻率测量，集多种测量方法为一体，是与JCKDY-1电阻率测试仪配套使用，自动获取电压读数，计算并修正电阻率值，数据自动保存，快速查询，提供打印及数据导出到Excel中，操作简单，方便可靠。
（10 ） 四探针电阻率测试仪精度
电器精度：1-1000欧姆≤0.3 %
整机测量精度：1-500欧姆·厘米≤3%
（11）电流：220V±10%，50HZ，功率消耗﹤35W
