能谱分析仪
是扫描电子显微镜和能谱仪联用的组合。主要应用在Ø固体样品表面微区形貌观察；材料断口形貌及其内部结构分析；微粒或纤维形状观察及其尺寸分析；固体样品表面微区成分的定性和半定量分析。
仪器简介】
扫描电镜-能谱分析仪是扫描电子显微镜和能谱仪联用的组合。主要应用在Ø固体样品表面微区形貌观察；材料断口形貌及其内部结构分析；微粒或纤维形状观察及其尺寸分析；固体样品表面微区成分的定性和半定量分析。
【仪器名称】扫描电镜-能谱分析仪
【型号电镜】JSM-6360LV、能谱仪：Falcon
【生产厂家】日本电子公司、美国EDAX公司
【主要技术指标】扫描电镜：放大倍数：×5～×100000；加速电压：5～30KV；分辨率：高真空模式3.0nm；低真空模式4.0nm。
【能谱仪】分辨率：优于132ev，可测元素范围4Be-92U
【功能/应用范围】二次电子图像、背散射电子图像、EDS/微区形貌、结构、颗粒大小、微区成分分析。
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