电子行业*真空系统-真空泵

东莞市普诺克真空科技有限公司多年*真空系统设计、改造、安装经验。为客户量身打造高品质的真空系统，普诺克电子行业*真空系统

*真空系统（*真空站）参数：

型号：PNK VS 600-200
抽速：200m3/h
极限压力：0.1（15）mbar
缓冲罐体：600L
电机功率：4.3Kw
尺寸：1650×700×1500mm
真空抽气接口尺寸数量：12×6

真空系统的工作原理
启动系统主真空泵组开始工作，直到真空罐内真空度达到设定的上限值，真空泵自动停止运行，*真空系统内的真空由管路上的真空止回阀自动截止而得到维持。如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时，备用真空泵组自动启动。由此循环往复，真空系统的真空度能够维持稳定的真空源，满足生产的要求。 

*真空站特点：
1、真空站的真空上、下限值，可通过真空表设定在0~-0.1Mpa之间，误差值在±10%。
2、真空站用储气罐根据用户要求制造，一般在0.1~3m3之间。真空站启动后，真空罐内真空度始终保持在设定的上、下限值之间。
3、配置真空泵采用品牌真空泵，可根据用气量相应配置型号。
4、控制方式：
A、单泵自动、手动控制。
B、双泵一开一备用或双泵分开单泵定时自动循环运行控制，或双泵同时联动运行自动控制。
5、真空负压站每台泵均配置带充气电磁止回阀一套，防止真空回油故障。
6、特殊行业可根据客户要求设计金属或粉尘过滤器，有效地保护真空获得设备。

电子行业*真空系统密封形式的选择
密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式，对于人工晶体生长设备，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，无需采用金属密封。以TDR--70型单晶炉为例，我们选择磁性流体密封作为旋转动密封，选择高精度大伸缩量的焊接波纹管进行移动密封，小直径轴的旋转密封选用“O”型密封圈或威尔逊密封，各种静密封则采用“0”型密封圈密封形式，直径压缩比为25％。
密封件材质的选用：真空度在lO-3Pa以下的真空系统，密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是，考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度高可达2300℃，密封部位进行水冷后，其温度在80℃左右，个别处温度可达100℃以上)。所以，要选择比较理想的密封圈材料。
用于真空密封橡胶材料，除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外，还要求有低的渗透率和出气率，良好的耐热性耐油性，同时要有一定的强度、硬度和弹性等。
3.静密封结构的选择
各种真空系统中，80%以上的密封为静密封，静密封效果的好坏，对系统的真空度及漏气率有很大的影响。因此，要对静密封结构进行认真设计，以达到理想的效果。
对静密封结构的设计，主要考虑如何选择主要密封面、如何减小残留气体及如何充分发挥橡胶密封圈功能。
无论是矩形密封槽、燕尾型密封槽还是梯形密封槽，其槽底较小的粗糙度容易获得为主要密封面，而其侧面则较小的粗糙度往往不易获得。同时，为了消除残留气体，在存在残留气体处设计了贯通孔，使系统内部各处畅通无阻。