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高纯气露点变送器Pura
在很多超纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案，用来在线测量露点值，下限低至惊人的-120°C （相当于不到 1 ppbV）。
高纯气露点变送器Pura在很多超纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案，用来在线测量露点值，下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。
高纯气露点变送器Pura是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。
亮点
- 测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV)
- 测量稳定，重复性好
- 高度集成的采样装置
- 模拟和数字输出
- 安装简便
- VCR 过程接口
- 设计紧凑小巧
- 显示/报警单元可选
传感器 传感器类型 密析尔陶瓷湿度传感器 量程 -120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C) 精度 ±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C压力 低 10-9 torr; 大 24 MPa 气体流量 1 ~ 5 Nl/min 电气 电源 通常 24 V DC, 低10 V ~ 28 V , 大电流 25 mA 输出 4-20 mA 输出, 对应范围可由软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)
大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)输出出错状态 标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
